[實(shí)用新型]一種酸清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201922157239.0 | 申請日： | 2019-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN211330517U | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張劍橋;陸前軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 東莞市中圖半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清洗 裝置 | ||
本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種酸清洗裝置。該酸清洗裝置包括：酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面，超聲結(jié)構(gòu)，所述超聲結(jié)構(gòu)包括超聲變幅桿，所述超聲變幅桿設(shè)置在所述酸洗槽的開口上方，所述超聲變幅桿可活動調(diào)節(jié)以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中，加熱裝置，設(shè)置在所述酸洗槽的下方。本實(shí)用新型實(shí)施例解決了對化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、附著力強(qiáng)的雜質(zhì)清除困難的問題，實(shí)現(xiàn)了增加體系中化學(xué)反應(yīng)速率、縮短酸洗時(shí)間、有效去除襯底表面頑固的雜質(zhì)的效果，并且能夠充分利用酸洗液，減少成本的浪費(fèi)，降低環(huán)境保護(hù)的負(fù)擔(dān)。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型實(shí)施例涉及半導(dǎo)體襯底技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)，尤其涉及一種酸清洗裝置。
背景技術(shù)
藍(lán)寶石襯底具有熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性和低成本的優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用為薄膜生長的襯底，在圖形化藍(lán)寶石制程中，產(chǎn)品襯底的酸清洗過程至關(guān)重要，將會直接影響外延層的生長質(zhì)量。
傳統(tǒng)藍(lán)寶石襯底的清洗裝置僅由石英缸組成，在石英缸底部安裝有通N2管以及電阻絲，通過將強(qiáng)氧化性酸混合液與N2鼓泡，再利用電阻絲加熱混合液，在酸洗過程中，通入純N2，增加片表面與液體之間的擾動、促進(jìn)片表面顆粒物質(zhì)的氧化或脫落，從而達(dá)到清洗襯底的作用。
現(xiàn)有技術(shù)中，僅僅通過強(qiáng)氧化性酸混合液與N2鼓泡、加熱相結(jié)合的方式來清洗藍(lán)寶石襯底，難以對襯底表面一些化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、附著力強(qiáng)的雜質(zhì)進(jìn)行有效清除，同時(shí)酸性溶液無法多次重復(fù)使用，增加成本，增大環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供一種酸清洗裝置，以清除襯底表面化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、附著力強(qiáng)的雜質(zhì)。
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種酸清洗裝置，包括：
酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面；
超聲結(jié)構(gòu)，所述超聲結(jié)構(gòu)包括超聲變幅桿，所述超聲變幅桿設(shè)置在所述酸洗槽的開口上方，所述超聲變幅桿可活動調(diào)節(jié)以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中；
加熱裝置，設(shè)置在所述酸洗槽的下方。
可選地，所述超聲變幅桿表面包覆有聚四氟乙烯耐酸抗氧化膜。
可選地，所述超聲變幅桿為鈦合金超聲變幅桿、鎳合金超聲變幅桿或鈷合金超聲變幅桿。
可選地，所述超聲結(jié)構(gòu)還包括定位支架，所述定位支架包括定位桿和活動桿；
所述超聲變幅桿與所述活動桿固定連接，所述活動桿活動連接在所述定位桿上，所述活動桿可活動調(diào)節(jié)以使所述超聲變幅桿伸入所述酸洗槽中的酸洗液中。
可選地，所述定位支架為聚四氟乙烯支架。
可選地，所述超聲結(jié)構(gòu)還包括超聲波發(fā)生器和超聲波換能器，所述超聲波發(fā)生器和所述超聲波換能器電連接，所述超聲波換能器和所述超聲變幅桿機(jī)械連接；
所述超聲波換能器根據(jù)所述超聲波發(fā)生器的超聲波發(fā)送的高頻交流電信號產(chǎn)生機(jī)械振動，所述超聲波換能器根據(jù)所述交流電信號產(chǎn)生規(guī)律振動，所述超聲變幅桿用于調(diào)節(jié)所述超聲波換能器輸入的規(guī)律振動的振幅并輸出。
可選地，所述加熱裝置包括紅外線烤燈和光反射結(jié)構(gòu)，所述紅外線烤燈位于所述酸洗槽和所述光反射結(jié)構(gòu)之間；所述光反射結(jié)構(gòu)將紅外線烤燈的光線反射至所述酸洗槽的底部。
可選地，所述加熱裝置為電熱絲或電熱管。
可選地，所述酸洗槽的底部設(shè)置有至少一個(gè)排液孔。
可選地，所述排液孔的直徑大于或等于5cm。
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