[實用新型]一種酸清洗裝置有效
| 申請號： | 201922157239.0 | 申請日： | 2019-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN211330517U | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發明（設計）人： | 張劍橋;陸前軍 | 申請（專利權）人： | 東莞市中圖半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 裝置 | ||
1.一種酸清洗裝置，其特征在于，包括：
酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面；
超聲結構，所述超聲結構包括超聲變幅桿，所述超聲變幅桿設置在所述酸洗槽的開口上方，所述超聲變幅桿可活動調節以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中；
加熱裝置，設置在所述酸洗槽的下方。
2.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述超聲變幅桿表面包覆有聚四氟乙烯耐酸抗氧化膜。
3.根據權利要求2所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述超聲變幅桿為鈦合金超聲變幅桿、鎳合金超聲變幅桿或鈷合金超聲變幅桿。
4.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述超聲結構還包括定位支架，所述定位支架包括定位桿和活動桿；
所述超聲變幅桿與所述活動桿固定連接，所述活動桿活動連接在所述定位桿上，所述活動桿可活動調節以使所述超聲變幅桿伸入所述酸洗槽中的酸洗液中。
5.根據權利要求4所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述定位支架為聚四氟乙烯支架。
6.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述超聲結構還包括超聲波發生器和超聲波換能器，所述超聲波發生器和所述超聲波換能器電連接，所述超聲波換能器和所述超聲變幅桿機械連接；
所述超聲波換能器根據所述超聲波發生器的超聲波發送的高頻交流電信號產生機械振動，所述超聲波換能器根據所述交流電信號產生規律振動，所述超聲變幅桿用于調節所述超聲波換能器輸入的規律振動的振幅并輸出。
7.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括紅外線烤燈和光反射結構，所述紅外線烤燈位于所述酸洗槽和所述光反射結構之間；所述光反射結構將紅外線烤燈的光線反射至所述酸洗槽的底部。
8.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述加熱裝置為電熱絲或電熱管。
9.根據權利要求1所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述酸洗槽的底部設置有至少一個排液孔。
10.根據權利要求9所述的酸清洗裝置，其特征在于，所述排液孔的直徑大于或等于5cm。
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