[實用新型]一種芯片檢測設備的開合式探針組件

有效

• 申請號: 201922155983.7
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211627747U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 彭義青;冼平東;黃明春;王量;容金波;吳述林;黃為民;周厚利;黎啟造;馮秀祥
• 申請（專利權）人: 深圳市泰克光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/073
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 丘杰昌

本實用新型公開了一種芯片檢測設備的開合式探針組件，包括探針組件安裝底板，探針組件安裝底板上設置有開合滑動導軌，開合滑動導軌上設置有第一探針滑動安裝板及第二探針滑動安裝板，第一探針滑動安裝板上設置有至少一個第一探針模組，第二探針滑動安裝板上設置有第二探針模組，探針組件安裝底板上還設置有第一開合驅動氣缸及第二開合驅動氣缸，第一開合驅動氣缸的輸出端連接到第一探針滑動安裝板，第二開合驅動氣缸的輸出端連接到第二探針滑動安裝板。該種芯片檢測設備的開合式探針組件具有結構簡單、性能穩定可靠、節省時間成本、提高檢測小測效率等現有技術所不具備的優點。

技術領域

本實用新型涉及芯片檢測領域，特別是一種芯片檢測設備的開合式探針組件。

背景技術

在芯片檢測過程中，芯片通電檢測前，需要采用相機對芯片的位置進行拍照標記。在現有芯片檢測設備中，由于結構及設計上的局限，位于芯片上部的探針裝置對芯片存在遮擋的情況，使得拍照裝置對芯片的拍照變得非常困難，每一次拍照標記的芯片區域很小，進而導致整個芯片面板產品需要耗費大量的時間才能完成拍照標記，降低檢測效率；另外，由于每一次的拍照區域面積小，需要芯片進行多次位置移動才能完成整個區域的標記，結構復雜、動作流程多，耗費時間長，嚴重降低了檢測效率。

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種新的技術方案以解決現存的技術缺陷。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種芯片檢測設備的開合式探針組件，解決了現有技術存在的結構復雜、動作流程多、檢測效率低下、耗費時間長等現有技術所不具備的優點。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種芯片檢測設備的開合式探針組件，包括探針組件安裝底板，所述探針組件安裝底板上設置有開合滑動導軌，所述開合滑動導軌上設置有第一探針滑動安裝板及第二探針滑動安裝板，所述第一探針滑動安裝板上設置有至少一個第一探針模組，所述第二探針滑動安裝板上設置有數量匹配第一探針模組的第二探針模組，所述探針組件安裝底板上還設置有第一開合驅動氣缸及第二開合驅動氣缸，所述第一開合驅動氣缸的輸出端連接到第一探針滑動安裝板并可驅動第一探針滑動安裝板在開合滑動導軌上滑動，所述第二開合驅動氣缸的輸出端連接到第二探針滑動安裝板上并可驅動第二探針滑動安裝板在開合滑動導軌上滑動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述探針組件安裝底板上具有一安裝凹位，所述開合滑動導軌、第一探針滑動安裝板、第二探針滑動安裝板及第一開合驅動氣缸、第二開合驅動氣缸均設置在所述安裝凹位中。

作為上述技術方案的進一步改進，所述開合滑動導軌具有兩根，所述第一探針滑動安裝板及第二探針滑動安裝板均通過開合滑動導軌座橫跨設置在兩根開合滑動導軌上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第一探針滑動安裝板的一端及第二探針滑動安裝板的一端分別固定設置有第一滑動安裝板連接塊及第二滑動安裝板連接塊，所述第一開合驅動氣缸的輸出端通過第一氣缸接頭連接到第一滑動安裝板連接塊上，所述第二開合驅動氣缸的輸出端通過第二氣缸接頭連接到第二滑動安裝板連接塊上，所述第一開合驅動氣缸可通過第一氣缸接頭、第一滑動安裝板連接塊驅動第一探針滑動安裝板在開合滑動導軌上滑動，所述第二開合驅動氣缸可通過第二氣缸接頭、第二滑動安裝板連接塊驅動第二探針滑動安裝板在開合滑動導軌上滑動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第一探針滑動安裝板及第二探針滑動安裝板上具開設有用于第一探針模組及第二探針模組的探針穿過的探針滑動安裝板缺口，所述探針組件安裝底板上開設有配合所述探針滑動安裝板缺口的底板缺口。