[實用新型]一種芯片檢測設備的開合式探針組件

有效

• 申請號: 201922155983.7
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211627747U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 彭義青;冼平東;黃明春;王量;容金波;吳述林;黃為民;周厚利;黎啟造;馮秀祥
• 申請（專利權）人: 深圳市泰克光電科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/073
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 丘杰昌

1.一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：包括探針組件安裝底板(1)，所述探針組件安裝底板(1)上設置有開合滑動導軌(11)，所述開合滑動導軌(11)上設置有第一探針滑動安裝板(21)及第二探針滑動安裝板(22)，所述第一探針滑動安裝板(21)上設置有至少一個第一探針模組(3)，所述第二探針滑動安裝板(22)上設置有數量匹配第一探針模組(3)的第二探針模組(4)，所述探針組件安裝底板(1)上還設置有第一開合驅動氣缸(51)及第二開合驅動氣缸(52)，所述第一開合驅動氣缸(51)的輸出端連接到第一探針滑動安裝板(21)并可驅動第一探針滑動安裝板(21)在開合滑動導軌(11)上滑動，所述第二開合驅動氣缸(52)的輸出端連接到第二探針滑動安裝板(22)上并可驅動第二探針滑動安裝板(22)在開合滑動導軌(11)上滑動。

2.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述探針組件安裝底板(1)上具有一安裝凹位(12)，所述開合滑動導軌(11)、第一探針滑動安裝板(21)、第二探針滑動安裝板(22)及第一開合驅動氣缸(51)、第二開合驅動氣缸(52)均設置在所述安裝凹位(12)中。

3.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述開合滑動導軌(11)具有兩根，所述第一探針滑動安裝板(21)及第二探針滑動安裝板(22)均通過開合滑動導軌座(111)橫跨設置在兩根開合滑動導軌(11)上。

4.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述第一探針滑動安裝板(21)的一端及第二探針滑動安裝板(22)的一端分別固定設置有第一滑動安裝板連接塊(211)及第二滑動安裝板連接塊(221)，所述第一開合驅動氣缸(51)的輸出端通過第一氣缸接頭(511)連接到第一滑動安裝板連接塊(211)上，所述第二開合驅動氣缸(52)的輸出端通過第二氣缸接頭(521)連接到第二滑動安裝板連接塊(221)上，所述第一開合驅動氣缸(51)可通過第一氣缸接頭(511)、第一滑動安裝板連接塊(211)驅動第一探針滑動安裝板(21)在開合滑動導軌(11)上滑動，所述第二開合驅動氣缸(52)可通過第二氣缸接頭(521)、第二滑動安裝板連接塊(221)驅動第二探針滑動安裝板(22)在開合滑動導軌(11)上滑動。

5.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述第一探針滑動安裝板(21)及第二探針滑動安裝板(22)上具開設有用于第一探針模組(3)及第二探針模組(4)的探針穿過的探針滑動安裝板缺口，所述探針組件安裝底板(1)上開設有配合所述探針滑動安裝板缺口的底板缺口。

6.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述第一探針滑動安裝板(21)在其靠近第二探針滑動安裝板(22)的一側設置有第一半圓缺口，所述第二探針滑動安裝板(22)在其靠近第一探針滑動安裝板(21)的一側設置有第二半圓缺口，第一探針滑動安裝板(21)與第二探針滑動安裝板(22)靠近閉合后，所述第一半圓缺口和第二半圓缺口共同組成探針滑動安裝板圓形缺口，所述探針滑動安裝板圓形缺口的圓心位于第一探針滑動安裝板(21)與第二探針滑動安裝板(22)的閉合線處，所述第一探針模組(3)繞著第一半圓缺口均勻分布，所述第二探針模組(4)繞著第二半圓缺口均勻分布，所述探針組件安裝底板(1)上開設有位置匹配所述探針滑動安裝板圓形缺口的底板圓形缺口，所述底板圓形缺口的尺寸大于或等于探針滑動安裝板圓形缺口的尺寸。

7.根據權利要求1所述的一種芯片檢測設備的開合式探針組件，其特征在于：所述第一探針模組(3)包括安裝在第一探針滑動安裝板(21)上的探針安裝底板(31)，所述探針安裝底板(31)上設置有探針X軸直線軸承(32)，所述探針X軸直線軸承(32)上設置有探針Y軸直線軸承(33)，所述Y軸直線軸承(33)上設置有探針中間安裝板(34)，所述探針中間安裝板(34)側部設置有探針Z軸直線軸承(35)，所述探針Z軸直線軸承(35)側部設置有探針安裝板(36)，所述探針安裝板(36)上設置有芯片探針(37)；所述探針X軸直線軸承(32)、探針Y軸直線軸承(33)及探針Z軸直線軸承(35)上分別設置有探針X軸調節按鈕(321)、探針Y軸調節按鈕(331)及探針Z軸調節按鈕(351)，所述第二探針模組(4)的結構與第一探針模組(3)的結構相同。