[實用新型]一種利用干涉原理完成激光波長測量的裝置

有效

• 申請號: 201922137801.3
• 申請日: 2019-12-03
• 公開（公告）號: CN210689822U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 張白;楊來龍;高洋;周春艷;劉杰
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 任君;陳益思

本實用新型涉及一種利用干涉原理完成激光波長測量的裝置，包括待測激光源、分光鏡、反光鏡、第一平面反射鏡、第二平面反射鏡、透鏡、光電探測器、處理器，待測激光源向分光鏡發射待測激光束，分光鏡將待測激光束反射/透射至反光鏡，以及將待測激光束透射/反射至第二平面反射鏡，反光鏡將接收到的待測激光束反射至第一平面反射鏡；第一平面反射鏡將接收到的待測激光束反射至透鏡，第二平面反射鏡將接收到的待測激光束反射至透鏡；透鏡將接收到的兩束待測激光束透射至光電探測器，與光電探測器電連接的處理器檢測光電探測器上產生的干涉現象，并計算待測激光束的波長。

技術領域

本實用新型涉及激光波長測量技術領域，特別涉及一種利用干涉原理完成激光波長測量的裝置。

背景技術

激光波長的精確測量對于光學精密測量領域至關重要，以激光干涉儀為例，其測量精度與激光波長的精度直接相關，如何提高激光波長的測量精度，降低激光波長測量裝置的復雜度與成本，成了相關領域的重要研究內容。

實用新型內容

本實用新型的目的在于改善現有技術中所存在的不足，提供一種利用干涉原理完成激光波長測量的裝置。

為了實現上述實用新型目的，本實用新型實施例提供了以下技術方案：

一種利用干涉原理完成激光波長測量的裝置，包括：

待測激光源，用于發射待測激光束；

分光鏡，用于接收待測激光束，并將待測激光束反射/透射至反光鏡，以及透射/反射至第二平面反射鏡；

反光鏡，用于接收分光鏡反射/透射的待測激光束，并將接收到的待測激光束反射至第一平面反射鏡；

第一平面反射鏡，用于接收反光鏡反射的待測激光束，并將接收到的待測激光束反射至透鏡；

第二平面反射鏡，與所述第一平面反射鏡相對固定連接，用于接收分光鏡透射/反射的待測激光束，并將接收到的待測激光束反射至透鏡；

透鏡，用于接收第一平面反射鏡和第二平面反射鏡反射的待測激光束，并將接收到的待測激光束透射至光電探測器；

光電探測器，用于接收透鏡透射的待測激光束；

處理器，與光電探測器電連接，用于檢測光電探測器上產生的干涉現象，并計算待測激光束的波長。

待測激光源向分光鏡發射待測激光束，分光鏡將待測激光束分為兩束激光束，分光鏡將待測激光束反射/透射至反光鏡，將待測激光束透射/反射至第二平面反射鏡，反光鏡將接收到的待測激光束反射至第一平面反射鏡。第一平面反射鏡將接收到的待測激光束反射至透鏡，第二平面反射鏡將接收到的待測激光束反射至透鏡。透鏡將接收到的兩束待測激光束透射至光電探測器，與光電探測器電連接的處理器檢測光電探測器上產生的干涉現象。

更進一步地，為了更好的實現本實用新型，所述第一平面反射鏡或第二平面反射鏡連接有精密位移裝置，用于帶動第一平面反射鏡和第二平面反射鏡在第一平面反射鏡和第二平面反射鏡的水平方向或豎直方向上移動。

更進一步地，為了更好的實現本實用新型，所述精密位移裝置為無導軌的壓電陶瓷電機，避免了導軌加工誤差對波長測量的影響，提高了波長測量結果的精度。

更進一步地，為了更好的實現本實用新型，所述透鏡為凸透鏡。

更進一步地，為了更好的實現本實用新型，所述光電探測器設置于所述凸透鏡的焦點處。

所述透鏡采用凸透鏡，根據凸透鏡的透射原理可知，垂直射入凸透鏡的光線都會通過凸透鏡的焦點，以便于光電探測器設置于凸透鏡的焦點處時，能通過射入的待測激光束產生干涉現象。