[實用新型]一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構

有效

• 申請號: 201922129724.7
• 申請日: 2019-12-03
• 公開（公告）號: CN211258214U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 鄭錦;吳俊冉;倪明;薛傳洲
• 申請（專利權）人: 南京原磊納米材料有限公司
• 主分類號: E05F15/53
• 分類號: E05F15/53
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 李斌

本實用新型具體是一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構，屬于開關領域，包括呈并排設置的供晶圓柜體和頂蓋視窗，所述供晶圓柜體和所述頂蓋視窗之間安裝有氣缸部件；進而，氣缸部件可實現頂蓋視窗開合，區別于傳統手動操作，頂蓋視窗的打開，關閉，壓緊均利用氣缸部件自動化完成，減少人工操作，提高效率并安裝氮氣彈簧作為保護減少安全隱患。

技術領域

本實用新型涉及開關領域，具體是一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構。

背景技術

供晶圓柜體是將晶圓放入其中后自動送入反應腔的部分，操作者在放入晶圓時需要松開頂蓋視窗的壓緊機構然后手動打開頂蓋視窗后再放入晶圓，放入晶圓后再手動關上頂蓋視窗，并擰緊頂蓋視窗壓緊機構，然后抽真空傳送晶圓，傳統的機構操作復雜，對操作者要求較高，壓緊機構的手動擰緊的程度將直接影響下一步柜體抽真空能否完成，如果真空度達不到要求則需要再次擰緊調整頂蓋視窗壓緊機構，而且由于頂蓋視窗重量很重，手動打開需要操作者有一定力量并且存在脫手砸傷等安全隱患。

以及，供晶圓柜體是需要在真空度和反應腔體一致的情況下才能傳送晶圓，所以對頂蓋視窗關上后密封O型圈能否壓緊密封具有很高要求，而且在頻繁放入晶圓開關門并調整壓緊裝置的情況下操作復雜效率低，給操作者體能增加了很大負擔。

針對上述問題，本實用新型提供一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構，包括呈并排設置的供晶圓柜體和頂蓋視窗，所述供晶圓柜體和所述頂蓋視窗之間安裝有氣缸部件；

進而，氣缸部件可實現頂蓋視窗開合，區別于傳統手動操作，頂蓋視窗的打開，關閉，壓緊均利用氣缸部件自動化完成，減少人工操作，提高效率并安裝氮氣彈簧作為保護減少安全隱患。

本實用新型進一步的方案：所述氣缸部件的前端固定有固定桿，而在固定桿分別轉動固定有一個傳動軸，傳動軸的另一端固定在旋轉軸上，旋轉軸通過兩個呈平行設置的軸承座轉動固定在供晶圓柜體上，以及旋轉軸上固定有鉸鏈連接塊，而鉸鏈連接塊另一端通過螺絲固定在頂蓋視窗上。

本實用新型再進一步的方案：所述傳動軸設置呈弧形。

本實用新型再進一步的方案：所述軸承座和供晶圓柜體通過螺絲進行固定。

本實用新型再進一步的方案：所述鉸鏈連接塊設置有兩個，且呈平行分布。

進而，氣缸部件通氣后氣缸活塞桿收縮，從而利用固定桿帶動傳動軸逆時針旋轉，傳動軸帶動旋轉軸轉動，而旋轉軸在軸承座的支撐下實現穩定逆時針旋轉，進而旋轉的旋轉軸帶動鉸鏈連接塊拉動頂蓋視窗逆時針旋轉打開。

本實用新型再進一步的方案：所述氣缸部件上設有安裝座，而安裝座轉動固定在供晶圓柜體上。

本實用新型再進一步的方案：所述氣缸部件上設有氣缸活塞桿。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

氣缸部件可實現頂蓋視窗開合，區別于傳統手動操作，頂蓋視窗的打開，關閉，壓緊均利用氣缸部件自動化完成，減少人工操作，提高效率并安裝氮氣彈簧作為保護減少安全隱患。

附圖說明

圖1為本實用新型供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構的俯視結構示意圖。

圖2為本實用新型供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機構的主視結構示意圖。

圖中：1-氣缸部件；2-供晶圓柜體；3-旋轉軸；4-軸承座；5-傳動軸；6-鉸鏈連接塊；7-頂蓋視窗。