[實(shí)用新型]一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922129724.7
• 申請(qǐng)日: 2019-12-03
• 公開（公告）號(hào): CN211258214U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭錦;吳俊冉;倪明;薛傳洲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京原磊納米材料有限公司
• 主分類號(hào): E05F15/53
• 分類號(hào): E05F15/53
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 李斌

1.一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，包括呈并排設(shè)置的供晶圓柜體（2）和頂蓋視窗（7），其特征在于，所述供晶圓柜體（2）和所述頂蓋視窗（7）之間安裝有氣缸部件（1）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣缸部件（1）的前端固定有固定桿，而在固定桿分別轉(zhuǎn)動(dòng)固定有一個(gè)傳動(dòng)軸（5），傳動(dòng)軸（5）的另一端固定在旋轉(zhuǎn)軸（3）上，旋轉(zhuǎn)軸（3）通過兩個(gè)呈平行設(shè)置的軸承座（4）轉(zhuǎn)動(dòng)固定在供晶圓柜體（2）上，以及旋轉(zhuǎn)軸（3）上固定有鉸鏈連接塊（6），而鉸鏈連接塊（6）另一端通過螺絲固定在頂蓋視窗（7）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)軸（5）設(shè)置呈弧形。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述軸承座（4）和供晶圓柜體（2）通過螺絲進(jìn)行固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述鉸鏈連接塊（6）設(shè)置有兩個(gè)，且呈平行分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣缸部件（1）上設(shè)有安裝座，而安裝座轉(zhuǎn)動(dòng)固定在供晶圓柜體（2）上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動(dòng)開合機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣缸部件（1）上設(shè)有氣缸活塞桿。