[實用新型]四軸玻璃基板搬運機器人

有效

• 申請號: 201922128928.9
• 申請日: 2019-12-03
• 公開（公告）號: CN211594237U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 何犇
• 申請（專利權）人: 銅陵天潤禾科技有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 銅陵市天成專利事務所(普通合伙) 34105
• 代理人: 程霏

本發明公開了一種四軸玻璃基板搬運機器人，目的就是提供一種能夠在工作行程范圍內將液晶玻璃基板搬運至空間內任意位置的可調節四臂搬運機器人，采用的技術方案包括X軸地軌裝置、中軸旋轉裝置、Z軸機械臂、Y軸機械臂和末端抓手，上述各機構都通過驅動裝置驅動實現四維度工作。本發明能夠使工作行程范圍內將液晶玻璃基板搬運至空間內任意位置。

技術領域

本發明涉及搬運用的機器人，尤其是四軸玻璃基板搬運機器人。

背景技術

在半導體設備和液晶顯示設備等制造工藝的過程中，制作工藝要求高，且工作過程涉及到的物料較大較重，所以研發引入一種通用的四軸玻璃基板搬運機器人尤為重要。搬運機器人用于從根本上更有效更安全的輸送晶片、基板或貨物，縮短工序節拍時間（TackTime），提高工藝效率，提升自動化程度，節省人工成本為研發方向。同時玻璃液晶基板的搬運過程需要柔性抓手搬運，并且具有各種類型尺寸的玻璃基板，所以末端抓手可變性及泛用性是本行業中需要實現的重要的一步。在現有公開技術中，韓國公開專利文獻 10-2008-0047205 號公開有能夠獨立旋轉并同時上下運動的具有多臂且能夠有效實現搬運基板的搬運基板機器人，該機器人在多維度方面仍有一定的不足。韓國公開專利文獻 10-2008-0047205 號，在設置于前后左右四個方向而從各個方向能夠搬運貨物的結構這一層面上具有優點，但因向東西南北四個方向獨立地運行，所以在搬運過程中可能會有干涉和干擾，同時結構復雜不易于調試。韓國公開專利文獻 10-2012-0007449 號提供一種用于增加基板處理裝置的吞吐量(through put，單位時間的基板的處理數量)，縮短分度器機器人及主搬運機器人的待機時間的搬運機器人。韓國公開專利文獻 10-2012-0007449 號具有縮短工藝時間的優點，但具有如下缺點，其機械手為同時驅動，所以并不能做好協同作用。

發明內容

本發明的目的就是提供一種能夠在工作行程范圍內將液晶玻璃基板搬運至空間內任意位置的可調節四臂搬運機器人。

為解決上述問題，本發明采用的技術方案是：四軸玻璃基板搬運機器人，其特征是它包括X軸地軌裝置、中軸旋轉裝置、Z軸機械臂、Y軸機械臂和末端抓手；所述的X軸地軌裝置包括底部地軌支架、上安裝基板和齒條，支架上固定有兩根平行的直線導軌，所述的上安裝基板與直線導軌適配，能夠沿直線導軌前后滑動，上安裝基板上固定有X軸伺服電機，X軸伺服電機輸出端固接有齒輪，所述的齒條固定在直線導軌的內側面，并與齒輪嚙合，驅動上安裝基板水平運動，上安裝板上固連有限位板，限位板擠壓在齒條對側導軌的側面上，實現橫向限位；所述的中軸旋轉裝置包括減速器安裝板、減速器和中軸伺服電機，減速器與中軸伺服電機傳動聯接，減速器的輸出端連接減速器安裝板，帶動減速器安裝板轉動；所述的Z軸機械臂包括Z軸伺服電機及聯接并驅動的絲桿直線模組，使絲桿直線模組上的滑動塊可以上下移動，絲桿直線模組安裝在Z軸安裝基板上，Z軸安裝基板通過支撐板安裝在減速器安裝板上；所述的Y軸機械臂包括Y軸伺服電機及聯接并驅動的第二直線模組，使其上的滑動塊可以在Y軸方向上運動；所述的第二直線模組通過支撐板二固定在Y軸安裝板上，Y軸安裝板安裝固定在第一直線模組滑動塊；所述的末端抓手包括末端抓手基板，末端抓手基板固定在第二直線模組的滑動塊上，末端抓手基板上安裝有左直線滑軌和右直線滑軌，兩直線滑軌上各固定有支撐板，末端抓手基板中部固接有支撐塊，支撐板及支撐塊上各裝有安裝桿；每個安裝桿上陣列密布了小孔，小孔內固定了真空吸盤，真空吸盤與真空發生器連接產生真空。

采用上述技術方案，末端抓手抓住玻璃基板，需要前后移動時，啟動X軸地軌裝置X軸伺服電機，驅動齒輪沿齒條行進，實現X軸方向的前后移動。當需要調整角度時，啟動中軸旋轉裝置的中軸伺服電機，將驅動帶動減速器安裝板轉動，固定在減速器安裝板上的全部部件實現轉動，也帶動了末端抓手抓住的玻璃基板的轉動。當需要高度調整時，啟動Z軸機械臂的Z軸伺服電機，將驅動絲桿模塊組滑塊上下運動，連接在該滑塊上末端抓手抓住的玻璃基板實現上下升降。如果需Y方向的豎向運動，啟動Y軸伺服電機，將驅動第二直線模組上的滑塊滑動，與之連接的末端抓手抓住玻璃基板實現Y軸方向的豎向運動。