[實(shí)用新型]應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201922126784.3 | 申請日： | 2019-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN211359456U | 公開（公告）日： | 2020-08-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李洋洋;張秀全;朱厚彬;羅具廷;劉桂銀 | 申請（專利權(quán)）人： | 濟(jì)南晶正電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B05C13/02 | 分類號： | B05C13/02;B05C11/08;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯長明;許偉群 |
| 地址： | 250100 山東省濟(jì)南市高新區(qū)港*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 應(yīng)用于 勻膠機(jī) | ||
1.一種應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，包括勻膠碗(1)、真空吸盤(2)以及定位組件(3)，其中：
所述勻膠碗(1)中設(shè)置有所述真空吸盤(2)，所述真空吸盤(2)通過真空通道(4)連接于真空泵；
所述定位組件(3)包括：限位件(31)、升降柱(32)以及驅(qū)動電機(jī)和控制器，沿所述真空吸盤(2)的周向方向設(shè)置所述限位件(31)，由所述限位件(31)圍成圓形限位區(qū)域，所述限位區(qū)域的直徑與晶圓基片(5)的直徑相等，且所述限位區(qū)域的圓心與所述真空吸盤(2)的中心重合；
所述限位件(31)連接于所述升降柱(32)，所述升降柱(32)連接于所述驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)連接于所述控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，所述真空吸盤(2)上設(shè)有若干吸孔(21)，若干所述吸孔(21)均連通于所述真空通道(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，由所述真空吸盤(2)的中心到邊緣，若干所述吸孔(21)的直徑依次遞減。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，由所述真空吸盤(2)的中心到邊緣，若干所述吸孔(21)的直徑依次遞增。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，與所述晶圓基片(5)接觸的所述真空吸盤(2)的表面上，沿邊緣處設(shè)有集液槽(22)，所述集液槽(22)與所述真空吸盤(2)中心的距離大于若干所述吸孔(21)中與所述真空吸盤(2)中心的最大距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，所述限位件(31)為若干限位柱(311)，若干所述限位柱(311)構(gòu)成所述限位區(qū)域，所述限位柱(311)的高度大于所述真空吸盤(2)的高度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于晶圓的勻膠機(jī)，其特征在于，所述限位件(31)為環(huán)形限位擋板(312)，所述限位擋板(312)的高度大于所述真空吸盤(2)的高度。
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