[實用新型]一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備

有效

• 申請號: 201922124277.6
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211088203U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 汪文堅;王秋華;路廣洋
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;F16F15/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，包括本體（1），其特征在于：所述本體（1）的左右兩側均固定安裝有連接管（2），所述連接管（2）的內部固定安裝有活動桿（3），所述活動桿（3）的外側套接有位于連接管（2）下方的套管（4），所述套管（4）的底部固定安裝有底板（5），所述套管（4）的相對側均固定安裝有數量為兩個的固定桿（6），所述固定桿（6）的相對側固定安裝有固定柱（7），所述固定柱（7）的外側套接有活動環（8），所述固定柱（7）的外側套接有位于活動環（8）底部的限位彈簧（9），所述活動環（8）的相對側固定安裝有承物板（10），所述承物板（10）的內部活動安裝有數量為兩個的活動塊（11），所述活動塊（11）的相背側固定安裝有與承物板（10）固定連接的減震彈簧（12），所述活動塊（11）的頂部活動安裝有與本體（1）活動連接的支撐桿（13），所述底板（5）的頂部固定安裝有數量為兩個的限位板（14），所述限位板（14）的相對側活動安裝有螺紋桿（15），所述螺紋桿（15）的外側套接有數量為兩個的套環（16），所述套環（16）的頂部活動安裝有連接桿（17），所述承物板（10）的底部固定安裝有與連接桿（17）活動連接的安裝板（18），所述底板（5）的頂部固定安裝有輸出軸與螺紋桿（15）固定連接的驅動電機（19）。

2.根據權利要求1所述的一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，其特征在于：所述限位彈簧（9）的數量為兩個，且限位彈簧（9）呈左右對稱分布。

3.根據權利要求1所述的一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，其特征在于：所述承物板（10）的頂部開設有活動槽，且活動塊（11）通過活動槽與承物板（10）活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，其特征在于：所述活動塊（11）的內部活動安裝有活動軸，且支撐桿（13）通過活動軸與活動塊（11）活動連接。

5.根據權利要求1所述的一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，其特征在于：所述螺紋桿（15）的外側開設有兩個相反的螺紋，且兩個套環（16）分部通過兩種螺紋與螺紋桿（15）活動連接。

6.根據權利要求1所述的一種12英寸晶圓銅柱錫凸塊加工封裝設備，其特征在于：所述減震彈簧（12）的數量為兩個，且減震彈簧（12）呈左右對稱分布。