[實用新型]一種管式PECVD凈化臺設備

有效

• 申請號: 201922122328.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN210974869U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 周佑丞;張春成;李曄純;成秋云;吳得軼
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 戴玲

1.一種管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：包括主框架(1)、上下料系統、輸送滑臺(2)和緩存架(3)，所述緩存架(3)設于主框架(1)內，且緩存架(3)包括多層用于存放石墨舟(4)的緩存位(31)，所述主框架(1)對應每層緩存位(31)設有反應爐對接窗口(11)，所述輸送滑臺(2)設于主框架(1)的底部用于輸送石墨舟(4)進出主框架(1)，所述上下料系統包括三軸移動模組(5)和設于三軸移動模組(5)上的托舟機構(6)，所述三軸移動模組(5)用于驅動托舟機構(6)與輸送滑臺(2)對接、用于驅動托舟機構(6)與各緩存位(31)對接以及用于驅動托舟機構(6)穿過反應爐對接窗口(11)進出對應的反應爐內。

2.根據權利要求1所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述三軸移動模組(5)包括X軸移動模塊(51)、Y軸移動模塊(52)和Z軸移動模塊(53)，所述Y軸移動模塊(52)設于Z軸移動模塊(53)的滑塊上，所述X軸移動模塊(51)設于Y軸移動模塊(52)的滑塊上，所述托舟機構(6)設于X軸移動模塊(51)的滑塊上。

3.根據權利要求2所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述Z軸移動模塊(53)設置兩組，所述Y軸移動模塊(52)設置兩組，兩組Y軸移動模塊(52)分別設于兩組Z軸移動模塊(53)的滑塊上，所述X軸移動模塊(51)設于兩個Y軸移動模塊(52)的滑塊上。

4.根據權利要求2或3所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述托舟機構(6)包括碳化硅桿(61)、支撐桿(62)和固定座(63)，所述碳化硅桿(61)與支撐桿(62)連接，所述支撐桿(62)與固定座(63)連接，所述固定座(63)與X軸移動模塊(51)的滑塊連接，所述碳化硅桿(61)與支撐桿(62)均與X軸移動模塊(51)平行。

5.根據權利要求4所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述固定座(63)設有兩個安裝孔(631)，所述支撐桿(62)一端穿設于兩個安裝孔(631)內，所述支撐桿(62)位于安裝孔(631)內的表面設有多個調節塊(64)，所述調節塊(64)上設有螺紋孔，所述固定座(63)上對應每個調節塊(64)設有調整螺栓(65)，所述調整螺栓(65)伸入安裝孔(631)內與調節塊(64)的螺紋孔配合。

6.根據權利要求5所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述調節塊(64)為楔塊。

7.根據權利要求4所述的管式PECVD凈化臺設備，其特征在于：所述碳化硅桿(61)與支撐桿(62)通過至少一個卡箍(66)連接。