[實用新型]一種晶體生長裝置有效
| 申請號： | 201922114666.0 | 申請日： | 2019-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN211005717U | 公開（公告）日： | 2020-07-14 |
| 發明（設計）人： | 趙有文;段滿龍;盧偉;楊俊;劉京明 | 申請（專利權）人： | 珠海鼎泰芯源晶體有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/10 | 分類號： | C30B29/10;C30B11/00;C30B33/02 |
| 代理公司： | 廣東朗乾律師事務所 44291 | 代理人： | 閆有幸;楊煥軍 |
| 地址： | 519000 廣東省珠海市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶體生長 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶體生長裝置，包括晶體生長爐；其特征在于，還包括底座以及角度調整裝置；所述晶體生長爐具有轉軸，所述晶體生長爐通過所述轉軸安裝在所述底座上，與所述底座可活動連接；所述角度調整裝置的驅動端連接所述晶體生長爐的所述轉軸；所述角度調整裝置驅動所述轉軸轉動以調整所述晶體生長爐的傾斜角度。
2.根據權利要求1所述的晶體生長裝置，其特征在于，所述晶體生長爐的爐體為圓柱形結構，所述晶體生長爐的轉軸為凸出所述爐體表面、且相對于所述爐體的縱軸軸對稱的兩點處。
3.根據權利要求1或2所述的晶體生長裝置，其特征在于，所述晶體生長爐具有容納石英安瓿瓶的腔體，圍繞所述腔體，設置有加熱爐。
4.根據權利要求3所述的晶體生長裝置，其特征在于，所述加熱爐將所述晶體生長爐劃分有若干個溫區。
5.根據權利要求4所述的晶體生長裝置，其特征在于，各個溫區的溫度分別控制。
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