[實用新型]一種晶棒加工裝置

有效

• 申請號: 201922045293.6
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN212331467U
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 匡怡君
• 申請（專利權）人: 上海聯興商務咨詢中心
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04
• 代理公司: 北京市海問律師事務所 11792
• 代理人: 陳吉云;張占江

本實用新型提供一種晶棒加工裝置，所述裝置包括夾具和至少兩個軸承滑輪，其中，所述夾具至少包括第一夾具平面和第二夾具平面，所述第一夾具平面和所述第二夾具平面上下重疊，并且可上下調節地固定連接；所述軸承滑輪可拆卸地固定于所述第一夾具平面和所述第二夾具平面之間。該裝置可直接加工晶體的兩個平邊，從而節省加工時間，增加產能，同時提高晶體平邊角度的精度。

技術領域

本實用新型涉及晶片加工領域，具體涉及一種晶棒加工裝置。

背景技術

在碳化硅晶棒的加工過程中，需要將晶棒進行平邊處理，稱之為晶棒平邊。目前，晶棒平邊的操作通常包括，將晶棒固定在夾具中，手動旋轉晶體，可以通過X光線找尋平邊角度，確認角度后鎖緊夾具的螺絲，并將夾具移至平面磨床進行平邊加工，加工完成后將螺絲卸除，將晶棒手動旋轉90度，重復上述操作。

由此可見，現行的晶棒平邊加工方式通常需要在每次加工前完成解固定、旋轉確認角度和再固定的操作，這樣的操作比較繁瑣，不利于提高生產效率。同時，還需要借助其他設備或裝置來精準控制或確認晶棒的旋轉角度，以避免在后續的加工工藝中發生定位錯誤。根據SiC業界規范，晶片的每條邊的夾角都要保持90度，若不精準，會對后段加工設備在找定位時發生錯誤，嚴重時會造成晶片的報廢。

因此，本領域技術人員亟需一種方便拆卸并可以準確固定角度的工藝，以提高晶棒平邊的加工效率。

發明內容

為解決上述晶棒平邊效率低并且旋轉角度不精確的缺陷，本實用新型提供了一種晶棒加工裝置，其目的在于利用夾具本身的直角以及在特定位置設置軸承滑輪孔，從而避免每次加工都需要重新固定晶棒以及借助其他設備確認旋轉角度的問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用的一種技術方案是：一種晶棒加工裝置，其特征在于，所述裝置包括夾具和至少兩個軸承滑輪，其中，所述夾具至少包括第一夾具平面和第二夾具平面，所述第一夾具平面和所述第二夾具平面間距可調地相對固定設置；所述軸承滑輪可拆卸地固定于所述第一夾具平面和所述第二夾具平面之間，用于從另一方向上固定晶棒。

優選地，所述軸承滑輪通過軸心與所述夾具的軸承滑輪孔可拆卸連接。

優選地，在所述夾具的不同位置設置所述軸承滑輪孔以適應不同尺寸的晶棒固定位置。

優選地，所述第一夾具平面和第二夾具平面的至少一側的外表面還包括突出平面，所述突出平面可以通過磁力吸附固定所述裝置。

優選地，所述夾具的平面通過螺絲調節其相對位置并固定。

與現有技術相比，本實用新型提供的優點在于：(1)利用本實用新型提供的裝置可直接加工晶棒的兩個平邊而不用旋轉確認平邊角度，從而節省加工時間，增加產能；(2)利用本實用新型提供的裝置可直接確定晶棒兩次平邊的角度，并且保證兩次平邊的夾角為90度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡要說明，顯然，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，并不構成對本發明保護范圍的限制。在理解本發明目的和精神的情況下，本領域普通技術人員可根據其掌握的常識對其進行適當擴展。

圖1a-1c：本實用新型一個實施例提供的4寸和6寸晶棒加工裝置的俯視結構示意圖(未顯示第一夾具平面)；

圖2：本實用新型另一個實施例提供的晶棒加工裝置的主視結構示意圖；

圖3：本實用新型另一個實施例提供的軸承滑輪示意圖。

具體實施方式