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[實用新型]一種晶棒加工裝置有效

專利信息
申請號: 201922045293.6 申請日: 2019-11-22
公開(公告)號: CN212331467U 公開(公告)日: 2021-01-12
發明(設計)人: 匡怡君 申請(專利權)人: 上海聯興商務咨詢中心
主分類號: B28D5/00 分類號: B28D5/00;B28D7/04
代理公司: 北京市海問律師事務所 11792 代理人: 陳吉云;張占江
地址: 201499 上海*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 加工 裝置
【權利要求書】:

1.一種晶棒加工裝置,其特征在于,所述裝置包括夾具和至少兩個軸承滑輪,其中,所述夾具至少包括第一夾具平面和第二夾具平面,所述第一夾具平面和所述第二夾具平面間距可調地相對固定設置;所述軸承滑輪可拆卸地固定于所述第一夾具平面和所述第二夾具平面之間,用于從另一方向上固定晶棒。

2.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述軸承滑輪通過軸心與所述夾具的軸承滑輪孔可拆卸地連接。

3.根據權利要求2所述的裝置,其特征在于,在所述夾具的不同位置設置所述軸承滑輪孔以適應不同尺寸的晶棒固定位置。

4.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述第一夾具平面和/或第二夾具平面的至少一側的外表面還包括突出平面,所述突出平面可以通過磁力固定所述裝置。

5.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述夾具的平面通過螺絲調節其相對位置并固定。

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