[實用新型]一種用于藍寶石晶圓的N2

有效

• 申請號: 201922045193.3
• 申請日: 2019-11-25
• 公開（公告）號: CN211515412U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 劉蓮蓬;丁建峰;于玉齋;魏明德
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技股份有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02
• 代理公司: 徐州市三聯專利事務所 32220
• 代理人: 陳鵬

本實用新型公開一種用于藍寶石晶圓的N₂吹掃裝置，包括支架、固定架、固定平臺、及吹掃頭；所述固定架呈L型，固定架的一端開有固定孔，另一端設有上下調節孔；所述固定平臺包括方板，方板上開有與固定孔配合的左右調節孔，方板的一端安裝有連接桿，連接桿上開有連接孔二；所述吹掃頭上設有N₂接口，吹掃頭上還開有與連接孔二配合的連接孔一，通過螺絲穿過連接孔一、連接孔二，使吹掃頭轉動調節N₂的吹掃角度。本實用新型通過N₂吹掃，將輕微粘附在晶圓表面的particle吹落，帶有particle的廢氣通過保護罩底部的排氣系統排出，從而起到清潔晶圓表面和保護周邊環境的作用，提高產品良率。

技術領域

本實用新型涉及一種用于藍寶石晶圓的N₂吹掃裝置，屬于藍寶石晶圓領域。

背景技術

PSS(Patterned Sapphire Substrate，圖形化藍寶石襯底)是在藍寶石襯底表面形成具有微觀圖形的藍寶石襯底。圖形化襯底一方面能夠有效降低外延結構層的位錯密度，提高外延材料的晶體質量和均勻性，進而提高發光二極管的內部量子效率；另一方面，由于圖形結構增加了光的散射，改變了發光二極管的光學線路，提升了出光幾率。

PSS工藝包括清洗/刷洗、涂膠、光刻、顯影、刻蝕等，來料產品刷洗完成后或顯影完成后，將在外觀自動檢測機臺進行外觀檢測。目前因二次污染，產品表面的大Particle(顆粒)導致產品良率受到影響。

發明內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種用于藍寶石晶圓的N₂吹掃裝置，降低產品外觀自動檢測時表面particle的數量，提高成品良率。

為了實現上述目的，本實用新型采用的一種用于藍寶石晶圓的N₂吹掃裝置，包括支架、設置在支架上部且可沿支架上部進行高度調節的固定架、設置在固定架頂部且可沿固定架的頂部進行左右調節的固定平臺、及安裝在固定平臺上的吹掃頭；

所述固定架呈L型，固定架的一端開有固定孔，另一端設有上下調節孔；所述固定平臺包括方板，方板上開有與固定孔配合的左右調節孔，方板的一端安裝有連接桿，連接桿上開有連接孔二；

所述吹掃頭上設有N₂接口，吹掃頭上還開有與連接孔二配合的連接孔一，通過螺絲穿過連接孔一、連接孔二，使吹掃頭轉動調節N₂的吹掃角度。

作為改進，所述固定架具有兩個，兩固定架對稱布置在支架的上部兩端。

作為改進，所述上下調節孔、左右調節孔均為長圓孔。

作為改進，所述吹掃頭內部設有外小內大的聚氣腔，所述聚氣腔與N₂接口相聯通。

作為改進，還包括安裝在外觀自動檢測機臺上部的保護罩，所述保護罩為圓型罩，保護罩上設有避位區。

作為改進，所述外觀自動檢測機臺的底部設有排氣管。

與現有技術相比，本實用新型通過固定架安裝在支架上部進行高度調節，固定平臺安裝在固定架上進行左右距離的調節，及吹掃頭與固定平臺間的轉動連接，能實現吹掃頭與晶圓間吹掃角度的精確控制，再通過N₂吹掃，將輕微粘附在晶圓表面的particle吹落，帶有particle的廢氣通過保護罩底部的排氣系統排出，從而起到清潔晶圓表面和保護周邊環境的作用，提高產品良率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型中固定架的主視圖；

圖3為本實用新型中固定架的側視圖；

圖4為本實用新型中固定平臺的俯視圖；