[實用新型]一種用于藍寶石晶圓的N2 有效
| 申請號： | 201922045193.3 | 申請日： | 2019-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN211515412U | 公開（公告）日： | 2020-09-18 |
| 發明（設計）人： | 劉蓮蓬;丁建峰;于玉齋;魏明德 | 申請（專利權）人： | 徐州同鑫光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B5/02 | 分類號： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 徐州市三聯專利事務所 32220 | 代理人： | 陳鵬 |
| 地址： | 221000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 藍寶石 base sub | ||
1.一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，包括支架(4)、設置在支架(4)上部且可沿支架(4)上部進行高度調節的固定架(3)、設置在固定架(3)頂部且可沿固定架(3)的頂部進行左右調節的固定平臺(2)、及安裝在固定平臺(2)上的吹掃頭(1)；
所述固定架(3)呈L型，固定架(3)的一端開有固定孔(31)，另一端設有上下調節孔(32)；所述固定平臺(2)包括方板，方板上開有與固定孔(31)配合的左右調節孔(23)，方板的一端安裝有連接桿(21)，連接桿(21)上開有連接孔二(22)；
所述吹掃頭(1)上設有N2接口(5)，吹掃頭(1)上還開有與連接孔二(22)配合的連接孔一(12)，通過螺絲穿過連接孔一(12)、連接孔二(22)，使吹掃頭(1)轉動調節N2的吹掃角度。
2.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，所述固定架(3)具有兩個，兩固定架(3)對稱布置在支架(4)的上部兩端。
3.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，所述上下調節孔(32)、左右調節孔(23)均為長圓孔。
4.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃頭(1)內部設有外小內大的聚氣腔(11)，所述聚氣腔(11)與N2接口(5)相聯通。
5.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，還包括安裝在外觀自動檢測機臺上部的保護罩(7)，所述保護罩(7)為圓型罩，保護罩(7)上設有避位區(6)。
6.根據權利要求5所述的一種用于藍寶石晶圓的N2吹掃裝置，其特征在于，所述外觀自動檢測機臺的底部設有排氣管(8)。
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