[實用新型]一種集成電路板的蝕刻槽裝置

有效

• 申請號: 201922040211.9
• 申請日: 2019-11-23
• 公開（公告）號: CN211256097U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 黃粵龍
• 申請（專利權）人: 藍科微電子（深圳）有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H05K3/06
• 代理公司: 深圳叁眾知識產權代理事務所(普通合伙) 44434
• 代理人: 杜立光

本實用新型涉及蝕刻槽裝置技術領域，尤其是一種集成電路板的蝕刻槽裝置，包括槽體，所述槽體的上方設有驅動升降架上下移動的升降機構，所述升降架上固定有軸承，所述軸承內轉動安裝有豎直設置的轉軸，所述升降架上設有驅動轉軸繞其中軸線旋轉的驅動機構，所述轉軸的下端通過連接架連接有矩形框狀的夾持架，所述夾持架的兩側通過活動連接機構連接有矩形框架狀的托架，所述托架位于夾持架的下方且與夾持架之間夾持有多個電路板。本實用新型能夠加快蝕刻速度，并且方便對電路板進行取放。

技術領域

本實用新型涉及蝕刻槽裝置領域，尤其涉及一種集成電路板的蝕刻槽裝置。

背景技術

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類。在電路板的生產過程中需要用到蝕刻，現有技術中的蝕刻是將集成電路板浸入蝕刻槽中，蝕刻槽中存儲有蝕刻液，通過蝕刻液進行蝕刻，這種蝕刻槽蝕刻速度較慢，且不方便電路板的放入和取出。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在蝕刻速度慢的缺點，而提出的一種集成電路板的蝕刻槽裝置。

為達到以上目的，本實用新型采用的技術方案為：一種集成電路板的蝕刻槽裝置，包括槽體，所述槽體的上方設有驅動升降架上下移動的升降機構，所述升降架上固定有軸承，所述軸承內轉動安裝有豎直設置的轉軸，所述升降架上設有驅動轉軸繞其中軸線旋轉的驅動機構，所述轉軸的下端通過連接架連接有矩形框狀的夾持架，所述夾持架的兩側通過活動連接機構連接有矩形框架狀的托架，所述托架位于夾持架的下方且與夾持架之間夾持有多個電路板。

優選的，所述升降機構包括豎直設在槽體上方的液壓缸，所述液壓缸通過連桿與槽體的頂部固定連接，所述液壓缸的下端與升降架固定連接。

優選的，所述驅動機構包括電機，所述電機固定在升降架上，所述轉軸的上端同軸連接有傳動輪，所述電機的輸出軸同軸連接有驅動輪，所述驅動輪通過傳動帶與傳動輪連接。

優選的，所述活動連接機構包括固定在托架側壁上的連接板和安裝板，所述夾持架的側壁上固定有水平設置的固定板和連接筒，所述連接板上開設有相互連通的條形孔和圓孔，所述固定板底部垂直連接有限位桿，所述限位桿穿過條形孔且端部連接有圓形的限位端，所述條形孔的寬度小于限位端的直徑，所述圓孔的直徑大于限位端的直徑，所述安裝板表面垂直連接有插桿，所述插桿上滑動安裝有滑環，所述滑環與安裝板之間的插桿上套裝有彈簧，所述插桿的端部插裝在連接筒內，所述滑環抵住連接筒的端面。

優選的，所述托架的上表面設有多個安裝槽，所述電路板分別卡裝在其中一個安裝槽內。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：本實用新型設置了驅動機構帶動托架旋轉，托架與夾持架配合對電路板進行安置，并且隨著旋轉，能夠及時移除被蝕刻的金屬，從而提高蝕刻速度。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型去掉槽體后的結構示意圖；

圖3為圖2中A處的結構示意圖；

圖4為圖2中B處的結構示意圖；

圖5為本實用新型去掉槽體后另一視角的結構示意圖；

圖6為本實用新型的托架的結構示意圖。

圖中：槽體1、液壓缸2、軸承3、電機4、傳動帶5、連接架6、托架7、夾持架8、電路板9、轉軸10、傳動輪11、升降架12、安裝槽13、插桿14、連接板15、連接筒16、滑環17、彈簧18、限位端19、安裝板20、圓孔21、條形孔22、限位桿23、固定板24。

具體實施方式