[實用新型]一種集成電路板的蝕刻槽裝置

有效

• 申請號: 201922040211.9
• 申請日: 2019-11-23
• 公開（公告）號: CN211256097U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 黃粵龍
• 申請（專利權）人: 藍科微電子（深圳）有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H05K3/06
• 代理公司: 深圳叁眾知識產權代理事務所(普通合伙) 44434
• 代理人: 杜立光

1.一種集成電路板的蝕刻槽裝置，包括槽體，其特征在于，所述槽體的上方設有驅動升降架上下移動的升降機構，所述升降架上固定有軸承，所述軸承內轉動安裝有豎直設置的轉軸，所述升降架上設有驅動轉軸繞其中軸線旋轉的驅動機構，所述轉軸的下端通過連接架連接有矩形框狀的夾持架，所述夾持架的兩側通過活動連接機構連接有矩形框架狀的托架，所述托架位于夾持架的下方且與夾持架之間夾持有多個電路板。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路板的蝕刻槽裝置，其特征在于，所述升降機構包括豎直設在槽體上方的液壓缸，所述液壓缸通過連桿與槽體的頂部固定連接，所述液壓缸的下端與升降架固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路板的蝕刻槽裝置，其特征在于，所述驅動機構包括電機，所述電機固定在升降架上，所述轉軸的上端同軸連接有傳動輪，所述電機的輸出軸同軸連接有驅動輪，所述驅動輪通過傳動帶與傳動輪連接。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路板的蝕刻槽裝置，其特征在于，所述活動連接機構包括固定在托架側壁上的連接板和安裝板，所述夾持架的側壁上固定有水平設置的固定板和連接筒，所述連接板上開設有相互連通的條形孔和圓孔，所述固定板底部垂直連接有限位桿，所述限位桿穿過條形孔且端部連接有圓形的限位端，所述條形孔的寬度小于限位端的直徑，所述圓孔的直徑大于限位端的直徑，所述安裝板表面垂直連接有插桿，所述插桿上滑動安裝有滑環，所述滑環與安裝板之間的插桿上套裝有彈簧，所述插桿的端部插裝在連接筒內，所述滑環抵住連接筒的端面。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路板的蝕刻槽裝置，其特征在于，所述托架的上表面設有多個安裝槽，所述電路板分別卡裝在其中一個安裝槽內。