[實(shí)用新型]一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922036727.6
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN211386001U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高志明;宗冰;高承燕;鮑守珍;甘易武;何乃棟;鄭連基
• 申請（專利權(quán)）人: 亞洲硅業(yè)（青海）股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;B08B15/04;F26B21/00
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙) 51223
• 代理人: 陳春華

本實(shí)用新型公開了一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備，涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，主要用于解決現(xiàn)有的清洗設(shè)備清洗效果差的問題。其主要結(jié)構(gòu)為：包括支架平臺和清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的內(nèi)筒體和外筒體，所述內(nèi)筒體與外筒體之間套設(shè)有能上下移動的筒套；所述外筒體的上端邊緣設(shè)有扣置還原爐鐘罩的安放座，安放座與還原爐鐘罩之間、外筒體與筒套之間皆設(shè)有充氣密封環(huán)；所述筒套上方設(shè)有噴頭。本實(shí)用新型提供的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備，其能通過浸泡的方式清潔還原爐鐘罩內(nèi)表面，清洗效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備。

背景技術(shù)

多晶硅生產(chǎn)大多采用改良西門子法，用來生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用的多晶硅。改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的反應(yīng)器主要為還原爐。該方法具體為：在多晶硅還原爐內(nèi)安裝沉積載體，并對沉積載體進(jìn)行通電使其發(fā)熱后，將還原爐內(nèi)高純氯硅烷和氫氣的混合氣體加熱至1000℃以上，發(fā)生反應(yīng)生成硅沉積在載體上。

還原爐是多晶硅生產(chǎn)的主要設(shè)備。其中，為保證多晶硅產(chǎn)品的品質(zhì)，對還原爐鐘罩內(nèi)表面的潔凈要求十分苛刻。如果鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，會導(dǎo)致硅芯擊不穿或者產(chǎn)品質(zhì)量污染等問題。

目前，對于鐘罩內(nèi)表面的清洗，使用的大多為自動高壓清洗裝置——即使用高壓水流(清洗液)對鐘罩內(nèi)表面進(jìn)行沖洗，再進(jìn)行烘干。然而，現(xiàn)如今的高壓清洗裝置只能清洗鐘罩內(nèi)表面粘附的易沖洗的污垢，對于粘附較牢固的污垢則較難清除。

因此，目前急需一種新型的能夠解決上述缺陷的多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備，其能通過浸泡的方式清潔還原爐鐘罩內(nèi)表面，清洗效果好。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設(shè)備，包括支架平臺和設(shè)置在支架平臺上的清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的內(nèi)筒體和套設(shè)在其外部的外筒體，所述內(nèi)筒體與外筒體之間套設(shè)有能上下移動的筒套；所述外筒體的上端邊緣設(shè)有用于扣置還原爐鐘罩的安放座，所述安放座與還原爐鐘罩之間、外筒體與筒套之間皆設(shè)有充氣密封環(huán)；所述筒套上方設(shè)有噴頭，位于兩個(gè)所述充氣密封環(huán)之間的外筒體側(cè)壁上連接有排水管。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述內(nèi)筒體的上端開口處設(shè)有水平的安裝板，所述安裝板上設(shè)有用于驅(qū)動筒套上下移動的頂起機(jī)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述筒套頂面設(shè)有排氣口，所述安裝板上設(shè)有與排氣口對應(yīng)且與廢氣回收裝置連接的出氣口，所述排氣口通過一伸縮管與出氣口連接。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，位于所述排水管上方的外筒體內(nèi)壁上設(shè)有圍繞外筒體軸心布置的用于輸入氮?dú)獾牡獨(dú)猸h(huán)管。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述筒套頂面為圓錐面，所述排氣口設(shè)置在筒套頂面的軸心處。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述噴頭設(shè)置在排氣口上方，所述噴頭下部設(shè)有能夠遮擋住排氣口的傘形擋板。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述頂起機(jī)構(gòu)包括豎直穿過安裝板且一端與筒套頂面接觸的筒套頂桿、豎直穿過安裝板與筒套頂面且一端與傘形擋板下部轉(zhuǎn)動式連接的噴頭伸縮桿；所述筒套頂桿與噴頭伸縮桿的外壁皆設(shè)有外螺紋，所述安裝板上設(shè)有用于驅(qū)動筒套頂桿和噴頭伸縮桿升/降的頂桿控制電機(jī)和噴頭伸縮控制電機(jī)。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述噴頭伸縮桿為管狀結(jié)構(gòu)，所述噴頭伸縮桿內(nèi)設(shè)有穿過傘形擋板與噴頭連接的水管。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述筒套的外壁上設(shè)有超聲波發(fā)生器。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述內(nèi)筒體與外筒體的下端連接，所述內(nèi)筒體與外筒體的連接處連接有滲水排空管。

有益效果