[實用新型]一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備

有效

• 申請號: 201922036727.6
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN211386001U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 高志明;宗冰;高承燕;鮑守珍;甘易武;何乃棟;鄭連基
• 申請（專利權）人: 亞洲硅業（青海）股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;B08B15/04;F26B21/00
• 代理公司: 成都華風專利事務所(普通合伙) 51223
• 代理人: 陳春華

1.一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，包括支架平臺(1)和設置在支架平臺(1)上的清洗機構，其特征在于，所述清洗機構包括豎直設置的內筒體(2)和套設在其外部的外筒體(5)，所述內筒體(2)與外筒體(5)之間套設有能上下移動的筒套(3)；所述外筒體(5)的上端邊緣設有用于扣置還原爐鐘罩(7)的安放座(51)，所述安放座(51)與還原爐鐘罩(7)之間、外筒體(5)與筒套(3)之間皆設有充氣密封環(6)；所述筒套(3)上方設有噴頭(4)，位于兩個所述充氣密封環(6)之間的外筒體(5)側壁上連接有排水管(53)。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述內筒體(2)的上端開口處設有水平的安裝板(21)，所述安裝板(21)上設有用于驅動筒套(3)上下移動的頂起機構。

3.根據權利要求2所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述筒套(3)頂面設有排氣口(31)，所述安裝板(21)上設有與排氣口(31)對應且與廢氣回收裝置連接的出氣口(22)，所述排氣口(31)通過一伸縮管(32)與出氣口(22)連接。

4.根據權利要求3所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，位于所述排水管(53)上方的外筒體(5)內壁上設有圍繞外筒體(5)軸心布置的用于輸入氮氣的氮氣環管(52)。

5.根據權利要求3所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述筒套(3)頂面為圓錐面，所述排氣口(31)設置在筒套(3)頂面的軸心處。

6.根據權利要求3或5所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述噴頭(4)設置在排氣口(31)上方，所述噴頭(4)下部設有能夠遮擋住排氣口(31)的傘形擋板(41)。

7.根據權利要求6所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述頂起機構包括豎直穿過安裝板(21)且一端與筒套(3)頂面接觸的筒套頂桿(24)、豎直穿過安裝板(21)與筒套(3)頂面且一端與傘形擋板(41)下部轉動式連接的噴頭伸縮桿(23)；所述筒套頂桿(24)與噴頭伸縮桿(23)的外壁皆設有外螺紋，所述安裝板(21)上設有用于驅動筒套頂桿(24)和噴頭伸縮桿(23)升/降的頂桿控制電機(241)和噴頭伸縮控制電機(231)。

8.根據權利要求7所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述噴頭伸縮桿(23)為管狀結構，所述噴頭伸縮桿(23)內設有穿過傘形擋板(41)與噴頭(4)連接的水管(42)。

9.根據權利要求1所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述筒套(3)的外壁上設有超聲波發生器(33)。

10.根據權利要求1所述的一種多晶硅還原爐鐘罩清洗設備，其特征在于，所述內筒體(2)與外筒體(5)的下端連接，所述內筒體(2)與外筒體(5)的連接處連接有滲水排空管(54)。