[實用新型]高精度激光功率取樣測量裝置

有效

• 申請號: 201922034020.1
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN210664764U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 牛崗;毛柘
• 申請（專利權）人: 江蘇銳通激光科技有限公司
• 主分類號: G01J1/04
• 分類號: G01J1/04;G01J1/42;G01J1/00
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 袁興隆

本實用新型涉及一種高精度激光功率取樣測量裝置，本高精度激光功率取樣測量裝置包括：功率探測器，沿激光光路依次設置的第一波片、取樣反射鏡、第二波片；其中激光器發射激光通過所述第一波片后，所述取樣反射鏡適于反射一部分激光至功率探測器，且所述功率探測器適于測量該部分激光的激光功率，另一部分激光穿過所述取樣反射鏡并通過第二波片輸出至加工設備；本實用新型能夠通過取樣反射鏡反射一部分激光到功率探測器，并通過對該部分激光的激光功率測量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能夠在不停機情況下輸出至加工設備，實現了實時在線進行激光功率測量的功能。

技術領域

本實用新型涉及一種激光功率檢測領域，尤其涉及一種高精度激光功率取樣測量裝置。

背景技術

在激光器或激光加工系統中激光的功率大小是一個非常重要的技術參數，此參數穩定與否直接影響系統的加工性能，另外激光器長期使用后激光功率是否衰減也是需要迫切掌握的信息。

通常的方法是采用激光功率計進行測量，這種方面由以下幾個缺點：需要配置專門激光功率測量儀器，成本較高，尤其是激光功率較高時需要配置高功率激光功率計；激光的光斑大小不同或者是打到功率計靶面上不同作用位置，激光功率計測量結果會有區別，因此這種方法測量一致性較差；測量激光功率時，由于主光路激光都進入了激光功率計，系統就無法進行加工。

因此，亟需開發一種新的高精度激光功率取樣測量裝置，以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種高精度激光功率取樣測量裝置，以解決如何在不停機情況下測量激光功率的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種高精度激光功率取樣測量裝置，其包括：功率探測器，沿激光光路依次設置的第一波片、取樣反射鏡、第二波片；其中激光器發射激光通過所述第一波片后，所述取樣反射鏡適于反射一部分激光至功率探測器，且所述功率探測器適于測量該部分激光的激光功率，另一部分激光穿過所述取樣反射鏡并通過第二波片輸出至加工設備。

進一步，所述取樣反射鏡的沿激光光路的入射端的一面不鍍膜，剩余一面鍍激光增透膜。

進一步，通過調節所述第一波片的角度，從而調節激光的偏振方向，以控制取樣反射鏡反射到功率探測器上的激光占原激光的激光功率比例。

進一步，所述激光功率比例適于采取0.6%-8%。

進一步，通過調節所述第二波片的角度，使出射激光和原入射激光的偏振方向相同。

進一步，所述高精度激光功率取樣測量裝置還包括：檢偏器；所述檢偏器適于檢測出射激光的偏振方向。

本實用新型的有益效果是，本實用新型能夠通過取樣反射鏡反射一部分激光到功率探測器，并通過對該部分激光的激光功率測量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能夠在不停機情況下輸出至加工設備，實現了實時在線進行激光功率測量的功能。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的高精度激光功率取樣測量裝置的結構框圖；

圖2是本實用新型的高精度激光功率取樣測量裝置的剖視圖；

圖3是本實用新型的高精度激光功率取樣測量裝置的結構圖；

圖4是本實用新型的取樣反射鏡的不鍍膜面的反射率圖。

圖中：功率探測器1、第一波片2、取樣反射鏡3、第二波片4、激光光路入射位置5、激光光路出射位置6、框架7。

具體實施方式