[實(shí)用新型]高精度激光功率取樣測(cè)量裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201922034020.1 | 申請(qǐng)日: | 2019-11-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN210664764U | 公開(公告)日: | 2020-06-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 牛崗;毛柘 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇銳通激光科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01J1/04 | 分類號(hào): | G01J1/04;G01J1/42;G01J1/00 |
| 代理公司: | 南京中高專利代理有限公司 32333 | 代理人: | 袁興隆 |
| 地址: | 223800 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 高精度 激光 功率 取樣 測(cè)量 裝置 | ||
1.一種高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,包括:
功率探測(cè)器,沿激光光路依次設(shè)置的第一波片、取樣反射鏡、第二波片;其中
激光器發(fā)射激光通過所述第一波片后,所述取樣反射鏡適于反射一部分激光至功率探測(cè)器,且所述功率探測(cè)器適于測(cè)量該部分激光的激光功率,另一部分激光穿過所述取樣反射鏡并通過第二波片輸出至加工設(shè)備。
2.如權(quán)利要求1所述的高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,
所述取樣反射鏡的沿激光光路的入射端的一面不鍍膜,剩余一面鍍激光增透膜。
3.如權(quán)利要求1所述的高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,
通過調(diào)節(jié)所述第一波片的角度,從而調(diào)節(jié)激光的偏振方向,以控制取樣反射鏡反射到功率探測(cè)器上的激光占原激光的激光功率比例。
4.如權(quán)利要求3所述的高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,
所述激光功率比例適于采取0.6%-8%。
5.如權(quán)利要求3所述的高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,
通過調(diào)節(jié)所述第二波片的角度,使出射激光和原入射激光的偏振方向相同。
6.如權(quán)利要求5所述的高精度激光功率取樣測(cè)量裝置,其特征在于,
所述高精度激光功率取樣測(cè)量裝置還包括:檢偏器;
所述檢偏器適于檢測(cè)出射激光的偏振方向。
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