[實用新型]一種細胞樣品腔室

有效

• 申請號: 201922021105.6
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN211652609U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 劉金虎;李超波;解婧
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G05D23/20
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 房德權

本實用新型實施例提供一種細胞樣品腔室，包括：第一層芯片上表面設置有進樣窗口、第一觀察窗口及出樣窗口；第二層芯片位于第一層芯片的下方，第二層芯片下表面設置有加熱電極；金屬支架位于第一層芯片與所述第二層芯片之間；電源接口位于加熱電極的端部，電源接口與外部電源相連；傳感器接口與溫度傳感器相連，控制器分別與電源及溫度傳感器相連；如此，通過在腔室中設置加熱電極及溫度傳感器，控制器獲取腔室內部的溫度，當內部溫度低于細胞生存溫度時，控制電源打開，加熱電極對腔室加熱，提高腔室內部溫度；當確定腔室內部溫度達到細胞生存溫度時，控制電源關閉，不再對腔室進行升溫，這樣通過加熱電極始終保持腔室內的溫度處于恒定狀態。

技術領域

本實用新型涉及電子科學技術領域，尤其涉及一種細胞樣品腔室。

背景技術

透射電子顯微鏡由于具有較高的時間和空間分辨率,在納米材料制備與表征、電化學反應過程、新能源材料與器件、生命科學等領域有廣泛應用。

由于細胞的生長涉及各種各樣的液體環境，隨著液體透射電子顯微鏡技術的發展，研究人員能夠觀察處于液體中的生物細胞的本征狀態。但是觀察測試過程中細胞的爬動是比較緩慢的，在未能保證細胞生存的溫度等條件下，細胞的活性會隨著時間而降低，導致測試結果不準。

實用新型內容

針對現有技術存在的問題，本實用新型實施例提供了一種細胞樣品腔室，用于解決現有技術中在利用液體投射電子顯微鏡觀察測試細胞的本征狀態時，由于細胞樣品腔室不能確保細胞生存的溫度，導致測試結果精度不高的技術問題。

本實用新型提供一種細胞樣品腔室，所述腔室包括：

第一層芯片，所述第一層芯片上表面設置有進樣窗口、第一觀察窗口及出樣窗口；

第二層芯片，所述第二層芯片位于所述第一層芯片的下方，所述第二層芯片下表面設置有加熱電極；

金屬支架，位于所述第一層芯片與所述第二層芯片之間；

電源接口，位于所述加熱電極的端部，所述電源接口與外部電源相連；

傳感器接口，位于所述加熱電極的端部，所述傳感器接口與溫度傳感器相連；

控制器，分別與所述電源及所述溫度傳感器相連。

可選地，金屬支架的厚度為50～200nm。

可選地，所述金屬支架的金屬包括：金、銀、銅、鎳及鉻中的任意一種。

可選地，所述第一觀察窗口上覆蓋有第一氮化硅膜，所述第一氮化硅膜的厚度為20～30nm。

可選地，所述第一層芯片與所述第二層芯片通過膠封裝相連接。

可選地，所述第一層芯片與所述第二層芯片通過陽極鍵合相連接。

可選地，所述第二層芯片的上表面設置有第二觀察窗口。

可選地，所述第二觀察窗口上覆蓋有第二氮化硅膜，所述第二氮化硅膜的厚度為20～30nm。

可選地，所述加熱電極為利用MEMS加工工藝制備在所述第二層芯片下表面的金屬圖形。

可選地，所述金屬包括：銅，鋁，鎳，鉑及銀中的任意一種。

本實用新型提供了一種細胞樣品腔室，通過在腔室中設置加熱電極及溫度傳感器，可通過溫度傳感器確定腔室內部的溫度，并將該溫度反饋至控制器，當內部溫度低于細胞生存溫度時，控制器控制電源打開，加熱電極可以對腔室加熱，提高腔室內部溫度；當確定腔室內部溫度達到細胞生存溫度時，控制電源關閉，不再對腔室進行升溫。這樣通過加熱電極始終保持腔室內的溫度處于恒定狀態，進而保在利用液體投射電子顯微鏡觀察測試細胞的本征狀態時，確保細胞生存的溫度，提高測試結果的精度。

附圖說明