[實用新型]一種細胞樣品腔室有效
| 申請號： | 201922021105.6 | 申請日： | 2019-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN211652609U | 公開（公告）日： | 2020-10-09 |
| 發明（設計）人： | 劉金虎;李超波;解婧 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01N23/04 | 分類號： | G01N23/04;G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所 11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 細胞 樣品 | ||
1.一種細胞樣品腔室，其特征在于，所述腔室包括：
第一層芯片，所述第一層芯片上表面設置有進樣窗口、第一觀察窗口及出樣窗口；
第二層芯片，所述第二層芯片位于所述第一層芯片的下方，所述第二層芯片下表面設置有加熱電極；
金屬支架，位于所述第一層芯片與所述第二層芯片之間；
電源接口，位于所述加熱電極的端部，所述電源接口與外部電源相連；
傳感器接口，位于所述加熱電極的端部，所述傳感器接口與溫度傳感器相連；
控制器，分別與所述電源及所述溫度傳感器相連。
2.如權利要求1所述的腔室，其特征在于，金屬支架的厚度為50～200nm。
3.如權利要求2所述的腔室，其特征在于，所述金屬支架的金屬包括：金、銀、銅、鎳及鉻中的任意一種。
4.如權利要求1所述的腔室，其特征在于，所述第一觀察窗口上覆蓋有第一氮化硅膜，所述第一氮化硅膜的厚度為20～30nm。
5.如權利要求1所述的腔室，其特征在于，所述第一層芯片與所述第二層芯片通過膠封裝相連接。
6.如權利要求1所述的腔室，其特征在于，所述第一層芯片與所述第二層芯片通過陽極鍵合相連接。
7.如權利要求1所述的腔室，其特征在于，所述第二層芯片的上表面設置有第二觀察窗口。
8.如權利要求7所述的腔室，其特征在于，所述第二觀察窗口上覆蓋有第二氮化硅膜，所述第二氮化硅膜的厚度為20～30nm。
9.如權利要求7所述的腔室，其特征在于，所述加熱電極為利用MEMS加工工藝制備在所述第二層芯片下表面的金屬圖形。
10.如權利要求9所述的腔室，其特征在于，所述金屬包括：銅，鋁，鎳，鉑及銀中的任意一種。
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