[實用新型]硅片烘干槽

有效

• 申請號: 201922015222.1
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210952133U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 左國軍;陳雷;任金枝;李雄朋;成旭;申斌;談麗文;邱瑞
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創精密機械有限公司
• 主分類號: F26B9/10
• 分類號: F26B9/10;F26B21/14;F26B25/10
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 萬景旺

本實用新型提出了一種硅片烘干槽，其包括槽體、硅片盒，硅片盒的下部設有勻流板，槽體的下部為通風口，硅片盒與勻流板之間還設有第一加熱器，第一加熱器靠近硅片盒底部，通風口與鼓風機連通，鼓風機與通風口之間設有第二加熱器，鼓風機與通風口之間還設有過濾器，槽體包括儲氣腔，槽體可為封閉設計，熱風經硅片盒后流入到抽風管，抽風管與所述鼓風機連通，抽風管通過緩沖腔與鼓風機連通，抽風管與鼓風機之間還設有除濕裝置。與現有技術相比，本實用新型保證了熱氣能夠均勻地從硅片盒的底部流經硅片盒，對硅片盒進行均勻、全面的烘干，大大降低了烘干時間，提升了產能。

技術領域

本實用新型涉及清洗設備，尤其涉及一種硅片烘干槽。

背景技術

隨著太陽能光伏產業的發展，晶體硅電池向著低成本、高效率、大產量的趨勢發展。隨著對晶體硅電池的生產工藝的不斷改進，電池的硅片在清洗的最后一道工藝會采用“冷水脫水”的方法以使得電池片擁有更好的電性能，因此在對硅片進行批量生產時，會有大量的冷水被帶入烘干槽，在現有的設計上，高壓鼓風機抽環境風，經過加熱器加熱和過濾器過濾，送入烘干槽內，通過吹氣管吹出，槽底部排出濕氣，然而雖然有熱風鼓入，但熱風對硅片盒的作用并不均勻，很難快速、有效且全面地烘干硅片盒上的水，導致烘干槽的烘干效率較差，并且隨著產量的增加，會堆積更多的濕氣，導致烘干時間越來越長，嚴重影響產能，所以需要一種新的烘干槽。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的硅片烘干槽烘干效率差的缺陷，本實用新型提出了一種硅片烘干槽。

本實用新型提出的技術方案為：一種硅片烘干槽，包括槽體、設于所述槽體內的硅片盒，所述硅片盒的下部為熱風通入側，熱風流經所述硅片盒并從所述硅片盒的上部流出，所述硅片盒的下部設有使熱風均勻流經所述硅片盒的至少一層的勻流板。

所述槽體的下部設有通風口，所述硅片盒與勻流板之間還設有用于加熱從所述通風口吹出的風的第一加熱器，所述第一加熱器靠近所述硅片盒底部設置。

進一步地，所述通風口與設置槽體外部的鼓風機連通，所述鼓風機轉動以提供風量。

進一步地，所述鼓風機與所述通風口之間設有第二加熱器。

進一步地，所述鼓風機與所述通風口之間還設有過濾器。

優選地，所述槽體包括儲氣腔，所述儲氣腔包括：與所述鼓風機連通進氣口、所述通風口。

所述槽體為封閉設計，所述槽體的上端設有抽風管，所述熱風流經所述硅片盒后流入到所述抽風管，所述抽風管與所述鼓風機連通。

優選地，所述抽風管通過緩沖腔與所述鼓風機連通。

進一步地，所述抽風管與鼓風機之間還設有除濕裝置。

進一步地，所述槽體內還通入防止硅片氧化的保護氣體。

與現有技術相比，本實用新型通過將硅片盒的下部設為熱風通入側，熱風流經硅片盒并從硅片盒的上部流出，這樣迎合了氣體容易向上流動的特性，避免了從其他方向流動時無法均勻覆蓋硅片盒每個部分，熱風經過硅片盒之前被勻流板均勻地分散開來，使熱氣自硅片盒的下方流經硅片盒并從上方均勻流出，這樣便保證了熱氣能夠均勻地從硅片盒的底部流經硅片盒，對硅片盒進行均勻、全面的烘干，避免了熱氣不均勻導致的烘干效率差的問題，大大降低了烘干時間，提升了產能；同時，在靠近硅片盒的底部設有第一加熱器，使熱風直接作用于硅片盒上，達到對硅片盒迅速升溫，快速烘干硅片盒上的水分，縮短烘干時間，提升了產量。

附圖說明

圖1是本實用新型硅片烘干槽的第一個實施例的結構示意簡圖；

圖2是本實用新型硅片烘干槽的第二個實施例的結構示意簡圖；

圖3是本實用新型硅片烘干槽的第三個實施例的結構示意簡圖；