[實用新型]硅片烘干槽有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201922015222.1 | 申請日： | 2019-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN210952133U | 公開（公告）日： | 2020-07-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 左國軍;陳雷;任金枝;李雄朋;成旭;申斌;談麗文;邱瑞 | 申請（專利權）人： | 常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司 |
| 主分類號： | F26B9/10 | 分類號： | F26B9/10;F26B21/14;F26B25/10 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人： | 萬景旺 |
| 地址： | 213000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 烘干 | ||
1.一種硅片烘干槽，包括槽體（1）、設于所述槽體內的硅片盒（2），其特征在于，所述硅片盒的下部為熱風通入側，熱風流經(jīng)所述硅片盒并從所述硅片盒的上部流出，所述硅片盒的下部設有使熱風均勻流經(jīng)所述硅片盒的至少一層的勻流板（14）。
2.根據(jù)權利要求1所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述槽體的下部設有通風口（13），所述通風口與設置槽體外部的鼓風機（3）連通，所述鼓風機轉動以向所述通風口吹風。
3.根據(jù)權利要求2所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述鼓風機與所述通風口之間設有對吹入到所述通風口的風進行加熱的第二加熱器（17）。
4.根據(jù)權利要求3所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述硅片盒與勻流板之間還設有用于加熱從所述通風口吹出的風的第一加熱器（12），所述第一加熱器靠近所述硅片盒底部設置。
5.根據(jù)權利要求2所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述鼓風機與所述通風口之間還設有過濾器（18）。
6.根據(jù)權利要求2所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述槽體包括儲氣腔（16），所述儲氣腔包括：與所述鼓風機連通進氣口（161）、所述通風口（13）。
7.根據(jù)權利要求2所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述槽體為封閉設計，所述槽體的上端設有抽風管（19），所述熱風流經(jīng)所述硅片盒后流入到所述抽風管，所述抽風管與所述鼓風機連通。
8.根據(jù)權利要求7所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述抽風管通過緩沖腔（20）與所述鼓風機連通。
9.根據(jù)權利要求7所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述抽風管與鼓風機之間還設有除濕裝置（21）。
10.根據(jù)權利要求7所述的硅片烘干槽，其特征在于，所述槽體內還通入防止硅片氧化的保護氣體。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司，未經(jīng)常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201922015222.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
