[實用新型]硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置及爐體設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922014117.6
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210607300U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅搏飛;吳勇茂;冼志軍
• 申請（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 汪海屏

本實用新型提供了一種硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置及爐體設(shè)備，傳送裝置包括：雙排鏈條，包括外鏈板、銷軸、中鏈板和內(nèi)鏈板，兩外鏈板通過銷軸連接形成外鏈節(jié)，中鏈板安裝在兩外鏈板之間的銷軸上，中鏈板與外鏈板之間設(shè)置有內(nèi)鏈節(jié)，其中，內(nèi)鏈節(jié)包括內(nèi)鏈板；載具，用于承載硅片，并與中鏈板相連接。本實用新型提供的傳送裝置，載具連接在中鏈板上，從而隨鏈條移動，實現(xiàn)對硅片的傳動。采用雙排鏈條傳動，可以提高傳動的穩(wěn)定性和準確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，更具體而言，涉及一種硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置和包括該硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置的爐體設(shè)備。

背景技術(shù)

HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)太陽能光伏電池制備時，硅片表面印刷完導(dǎo)電漿后需要進行烘干固化。傳統(tǒng)的傳送裝置采用單排鏈條傳動，傳動不穩(wěn)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本實用新型的一個方面的目的在于提供一種硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置。

本實用新型的另一個方面的目的在于提供一種包括上述硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置的爐體設(shè)備。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的一個方面的技術(shù)方案提供了一種硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置，包括：雙排鏈條，包括外鏈板、銷軸、中鏈板和內(nèi)鏈板，兩所述外鏈板通過所述銷軸連接形成外鏈節(jié)，所述中鏈板安裝在兩所述外鏈板之間的所述銷軸上，所述中鏈板與所述外鏈板之間設(shè)置有內(nèi)鏈節(jié)，其中，所述內(nèi)鏈節(jié)包括所述內(nèi)鏈板；載具，用于承載所述硅片，并與所述中鏈板相連接。

本實用新型上述技術(shù)方案提供的硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置，載具連接在中鏈板上，從而隨鏈條移動，實現(xiàn)對硅片的傳動。采用雙排鏈條傳動，可以提高傳動的穩(wěn)定性和準確性。

另外，本實用新型上述技術(shù)方案提供的硅片爐體設(shè)備的硅片傳送裝置還具有如下附加技術(shù)特征：

上述技術(shù)方案中，所述中鏈板包括連接板和安裝臺，所述連接板設(shè)置在所述銷軸與所述安裝臺之間，所述安裝臺與所述載具相抵接。

安裝臺用于與載具相抵接，設(shè)置安裝臺可以增大中鏈板與載具之間的接觸面積，從而實現(xiàn)中鏈板與載具之間的連接可靠性，使載具與雙排鏈條成為一個整體，在傳送硅片(電池片)時不會因為有間隙而晃動。

進一步地，安裝臺設(shè)置在載具的中部，以進一步增強對載具支撐的平穩(wěn)性。

在上述任一技術(shù)方案中，所述連接板的端部沿所述載具的長度方向延伸形成所述安裝臺。

連接板的端部沿在載具的長度方向延伸形成安裝臺，或者，連接板的端部沿載具的長度方向彎折形成安裝臺，以增大安裝臺沿載具長度方向上的尺寸，進而增大安裝臺與載具的貼合長度和貼合面積，增強安裝臺對載具支撐的平穩(wěn)性。

上述任一技術(shù)方案中，所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面與所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面的形狀相適配；所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面呈平面狀，所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面呈平面狀；或者，所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面呈曲面狀，所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面呈相適配的曲面狀。

安裝臺上用于與載具相抵接的表面為安裝臺上朝向載具的表面，載具上用于與安裝臺相抵接的表面為載具上朝向安裝臺的表面。

安裝臺上用于與載具相抵接的表面與載具上用于與安裝臺相抵接的表面的形狀相適配，從而進一步增大安裝臺與載具之間的貼合面積，增強安裝臺對載具支撐的平穩(wěn)性，提高雙排鏈條對硅片傳送的平穩(wěn)性。

安裝臺上用于與載具相抵接的表面和載具上用于與安裝臺相抵接的表面均呈平面狀，使得兩表面形狀相適配，使得兩表面可以完全貼合。