[實用新型]硅片爐體設備的硅片傳送裝置及爐體設備

有效

• 申請號: 201922014117.6
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210607300U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 羅搏飛;吳勇茂;冼志軍
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 汪海屏

1.一種硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，包括：

雙排鏈條，包括外鏈板、銷軸、中鏈板和內鏈板，兩所述外鏈板通過所述銷軸連接形成外鏈節，所述中鏈板安裝在兩所述外鏈板之間的所述銷軸上，所述中鏈板與所述外鏈板之間設置有內鏈節，其中，所述內鏈節包括所述內鏈板；

載具，用于承載所述硅片，并與所述中鏈板相連接。

2.根據權利要求1所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述中鏈板包括連接板和安裝臺，所述連接板設置在所述銷軸與所述安裝臺之間，所述安裝臺與所述載具相抵接。

3.根據權利要求2所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面與所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面的形狀相適配；

所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面呈平面狀，所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面呈平面狀；或者，所述安裝臺上用于與所述載具相抵接的表面呈曲面狀，所述載具上用于與所述安裝臺相抵接的表面呈相適配的曲面狀。

4.根據權利要求2所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述中鏈板包括相對設置的第一中鏈板和第二中鏈板，所述銷軸穿過所述第一中鏈板和所述第二中鏈板，所述連接板包括所述第一中鏈板上設置的第一連接板和所述第二中鏈板上設置的第二連接板，所述安裝臺包括所述第一中鏈板上設置的第一安裝臺和所述第二中鏈板上設置的第二安裝臺，所述第一安裝臺和所述第二安裝臺相背設置。

5.根據權利要求2所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述載具上設有多個連接部，所述安裝臺上設有多個連接配合部，多個所述連接部與多個所述連接配合部一一對應并相連接，其中，多個所述連接部中至少兩個所述連接部沿所述載具的長度方向依次設置。

6.根據權利要求5所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述連接部包括所述載具上設置的安裝孔，所述連接配合部包括所述安裝臺上設置的連接孔，緊固件穿過所述安裝孔和所述連接孔，以連接所述載具和所述安裝臺。

7.根據權利要求1所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，

所述中鏈板與所述銷軸過盈配合。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，包括：

雙排鏈輪，分別與所述雙排鏈條相嚙合；和

傳動軸，穿過所述雙排鏈輪，并用于帶動所述雙排鏈輪轉動；

其中，所述傳動軸和所述雙排鏈輪的數量均為多個，多個所述傳動軸中至少一個為主動軸，以形成傳動循環，且每一所述傳動軸上依次設有多個所述雙排鏈輪，所述雙排鏈條的數量與一所述傳動軸上設置的所述雙排鏈輪的數量相等并一一對應。

9.根據權利要求1至7中任一項所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，其特征在于，所述雙排鏈條包括：

套筒，套設在所述銷軸的外側；

滾柱，套設在所述銷軸的外側，并位于所述內鏈節的兩所述內鏈板之間；

滾輪，所述銷軸向外穿出所述外鏈板，所述滾輪套設在所述銷軸位于所述外鏈板外的部分上。

10.一種爐體設備，其特征在于，包括：

加熱裝置，限定出工藝腔；和

如權利要求1至9中任一項所述的硅片爐體設備的硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置至少部分設置在所述工藝腔中。