[實用新型]一種卸載裝置及化學機械拋光輔助設備

有效

• 申請號: 201922010912.8
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN210968392U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 孫強;沈思情;張俊寶;陳猛
• 申請（專利權）人: 上海超硅半導體有限公司;重慶超硅半導體有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種卸載裝置，包括拋盤(100)，所述拋盤(100)被配置為用于放置產品，其特征在于，所述卸載裝置還包括：

噴淋機構，包括噴淋槽(11)和多組噴頭(12)，所述噴淋槽(11)上開設有卸載口(111)，多組所述噴頭(12)沿水平方向排列懸置在所述噴淋槽(11)的上方且能夠向所述噴淋槽(11)內噴射保護液；

回收機構，包括回收片盒(21)，所述回收片盒(21)的開口與所述卸載口(111)相對設置；

傳送機構，包括傳送帶(31)，所述傳送帶(31)部分設置在所述噴淋槽(11)內，所述拋盤(100)設置在所述傳送帶(31)上，所述傳送帶(31)能夠將所述拋盤(100)傳送至所述卸載口(111)；

卸載機構，包括卸載臺(41)和高壓水噴頭(42)，所述卸載臺(41)能夠將所述傳送帶(31)上的所述拋盤(100)推頂升起并與所述傳送帶(31)分離，所述高壓水噴頭(42)能夠將所述拋盤(100)上的產品沖射入所述回收片盒(21)內。

2.根據權利要求1所述的卸載裝置，其特征在于，每組所述噴頭(12)包括至少兩個噴嘴，所述噴嘴的噴射角度為α，所述拋盤(100)的直徑為D，所述噴頭(12)至所述拋盤(100)的距離L₁≥0.5D*cot(0.5α)，相鄰兩個所述噴嘴之間的距離L₂≤0.25D。

3.根據權利要求2所述的卸載裝置，其特征在于，所述噴淋機構還包括噴淋管路(13)，所述噴淋管路(13)設置在所述噴淋槽(11)的上方，多組所述噴頭(12)均與所述噴淋管路(13)相連通。

4.根據權利要求2所述的卸載裝置，其特征在于，所述卸載裝置還包括隔擋機構，所述隔擋機構包括隔板(51)，所述噴淋槽(11)的底部上設置有避讓槽(112)，所述隔板(51)穿設在所述避讓槽(112)內，所述隔板(51)能夠沿豎直方向移動，以阻擋所述拋盤(100)隨所述傳送帶(31)移動或允許所述拋盤(100)隨所述傳送帶(31)移動。

5.根據權利要求4所述的卸載裝置，其特征在于，所述隔板(51)的數量為多個，相鄰兩個所述隔板(51)之間的距離L₃的范圍為D＜L₃＜2D。

6.根據權利要求5所述的卸載裝置，其特征在于，所述隔擋機構還包括隔板驅動器(52)，所述隔板驅動器(52)的輸出端與所述隔板(51)相連接，所述隔板驅動器(52)能夠驅動所述隔板(51)沿豎直方向移動。

7.根據權利要求1-6任一項所述的卸載裝置，其特征在于，所述拋盤(100)上設置有供所述產品進出的開口，所述卸載機構還包括卸載驅動器(43)，所述卸載驅動器(43)能夠驅動所述卸載臺(41)沿豎直方向移動以及在水平面內旋轉，以使所述拋盤(100)的開口與所述回收片盒(21)的開口相對設置。

8.根據權利要求1-6任一項所述的卸載裝置，其特征在于，所述回收片盒(21)內設置有多個卡槽，所述回收片盒(21)能夠沿豎直方向移動，以使一個所述卡槽收納一個產品。

9.根據權利要求8所述的卸載裝置，其特征在于，所述回收機構還包括設置有保護液的回收臺(22)，所述回收片盒(21)設置在所述回收臺(22)上，且所述回收片盒(21)內的產品能夠浸沒在所述保護液內。

10.一種化學機械拋光輔助設備，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的卸載裝置。