[實用新型]一種面蒸鍍源結構和設備

有效

• 申請號: 201922007321.5
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN211112187U
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 羅云鵬
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 徐劍兵;張忠波

本實用新型提供一種面蒸鍍源結構和設備，包括坩堝、擴散腔和分散板，擴散腔設置在坩堝開口上，所述擴散腔底部開口坩堝頂部開口等大，擴散腔內設置有擴散板，擴散板上面設置有多個蒸汽擴散孔，擴散腔的開口由下往上依次增大，分散板蓋在擴散腔的上開口處，分散板為平面板狀結構，分散板上設置有多個噴嘴，所述噴嘴貫通分散板的上下面，所述噴嘴在分散板上均勻排列。上述技術方案通過在坩堝上的整個開口上設置擴散腔，可以減少擴散腔的側壁面積，可以有效改善有機材料的利用率，降低蒸鍍制程生產成本。可以縮小蒸鍍設備整體的體積，降低設備采購成本。且通過擴散板的噴嘴，可以改善蒸鍍成膜均勻性，可以提升蒸鍍良率，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍設備技術領域，尤其涉及一種面蒸鍍源結構和設備。

背景技術

AMOLED技術具有高亮度，高對比度，高色彩飽和度等技術優勢，在目前的消費電子領域，尤其是智能手機領域已經是高端的代名詞。AMOLED顯示屏幕制造技術有蒸鍍制備法和熱轉印制備法及打印制備法等。其中蒸鍍制備法是目前唯一量產的生產工藝，其主要是利用坩堝將有機材料加熱至氣態，進而通過FMM與背板的精確對位，將有機材料蒸鍍在背板的發光區域。現有的蒸鍍機量產應用的source(蒸鍍源)有兩種，一種是Point source(點源)，另一種是linear source(線源)。兩種source相比較，linear source的材料利用率相對較高，20％左右，Point source為5％左右，所以目前的量產工廠大部分均采用Linearsource進行生產。Linear source的結構是一個下部為一個條形的坩堝用來承裝有機材料，上部為有機蒸汽噴射Nozzle(噴嘴)，通過Nozzle來定義蒸鍍角，linear source的長度與背板的寬度相當，所以在制程中是將linear source固定在機械手臂上，沿著背板的方向進行掃描移動來完成鍍膜的，其在運動過程中大部分有機材料會附著在蒸鍍腔壁上。Linersource對于有機材料的利用率依然比較低，80％的有機材料被蒸鍍在蒸鍍腔壁上，形成巨大的浪費。

實用新型內容

為此，需要提供一種面蒸鍍源結構和設備，解決現有蒸鍍材料浪費的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種面蒸鍍源結構，包括坩堝、擴散腔和分散板，擴散腔設置在坩堝開口上，所述擴散腔底部開口坩堝頂部開口等大，擴散腔內設置有擴散板，擴散板上面設置有多個蒸汽擴散孔，擴散腔的開口由下往上依次增大，分散板蓋在擴散腔的上開口處，分散板為平面板狀結構，分散板上設置有多個噴嘴，所述噴嘴貫通分散板的上下面，所述噴嘴在分散板上均勻排列。

進一步地，所述坩堝底部為弧形底部。

進一步地，所述坩堝壁、擴散腔壁或者分散板內置有電熱絲。

進一步地，所述坩堝、擴散腔或者分散板為陶瓷材質。

進一步地，所述擴散板的數量為多個，多個的擴散板由上往下依次設置在擴散腔內，擴散板上的蒸汽擴散孔的大小由下往上依次變小且數量由下往上依次變多。

進一步地，所述擴散板上的蒸汽擴散孔的總面積占擴散板面積的50％-60％。

進一步地，所述噴嘴的頂端往分散板四周傾斜。

進一步地，所述噴嘴的直徑為1mm-2mm的圓孔，噴嘴間距為3mm-5mm。

本實用新型提供一種具有面蒸鍍源結構的蒸鍍設備，所述面蒸鍍源結構為上述任意一項實施例所述的面蒸鍍源結構。

區別于現有技術，上述技術方案通過在坩堝上的整個開口上設置擴散腔，可以減少擴散腔的側壁面積，可以有效改善有機材料的利用率，降低蒸鍍制程生產成本。可以縮小蒸鍍設備整體的體積，降低設備采購成本。且通過擴散板的噴嘴，可以改善蒸鍍成膜均勻性，可以提升蒸鍍良率，降低生產成本。

附圖說明