[實用新型]光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921993305.1
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN211486811U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王鴻巖;孫浩
• 申請（專利權(quán)）人: 遼寧靖帆新材料有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00
• 代理公司: 沈陽鼎恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 21245
• 代理人: 趙月娜

本實用新型涉及一種光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，包括一級過濾釜和二級過濾罐，其技術(shù)要點是：一級過濾釜內(nèi)下部設(shè)有水平過濾網(wǎng)Ⅰ，所述水平過濾網(wǎng)Ⅰ上方設(shè)有同心的環(huán)形過濾筒，環(huán)形過濾筒內(nèi)懸設(shè)有攪拌機構(gòu)，一級過濾釜頂部設(shè)有固液混合物投口、超純水入口和溶劑入口，一級過濾釜底部設(shè)有三通接頭并利用三通接頭連接有廢水輸送管路和再過濾輸送管路，再過濾輸送管路末端設(shè)有提升泵，二級過濾罐底面中心支撐有納濾裝置，納濾裝置的頂部支撐有過濾斗，過濾斗底部設(shè)有水平過濾網(wǎng)Ⅱ。本實用新型從根本上解決了現(xiàn)有過濾裝置過濾效果差的問題，保證感光樹脂的再利用指標(biāo)符合生產(chǎn)要求，節(jié)約資源。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光刻膠生產(chǎn)設(shè)備，具體是一種光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，適用于光刻膠中感光樹脂的回收利用。

背景技術(shù)

光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，其是由溶劑、感光樹脂、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下，進行光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等過程，將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至待加工的襯底上，然后進行蝕刻等工藝加工，最終得到所需圖像。其中，溶劑使光刻膠具有流動性，易揮發(fā)，對于光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎沒有影響。感光樹脂是惰性的聚合物，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑，給予光刻膠其機械和化學(xué)性質(zhì)。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分，對光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學(xué)物質(zhì)，用來控制和改變光刻膠材料的特定化學(xué)性質(zhì)或響應(yīng)特性。

在光刻工藝中，一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離。因此很大一部分光刻膠在顯影過程中溶于廢液。光刻膠價格昂貴，如不對廢液中的光刻膠回收利用，會造成較大的資源浪費。因此一般會對這部分光刻膠中的感光樹脂進行收集，之后繼續(xù)用于生產(chǎn)。在上述回收行為應(yīng)用的生產(chǎn)設(shè)備中，過濾裝置非常重要，直接影響在后產(chǎn)品的品質(zhì)。但現(xiàn)有的過濾裝置存在如下問題：功能單一，過濾后樹脂內(nèi)仍存在雜質(zhì)，過濾效果差。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)置更為合理、使用方便可靠的光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，從根本上解決現(xiàn)有過濾裝置過濾效果差的問題，保證感光樹脂的再利用指標(biāo)符合生產(chǎn)要求，節(jié)約資源。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：

一種光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，包括一級過濾釜和二級過濾罐，其技術(shù)要點是：所述一級過濾釜內(nèi)下部設(shè)有水平過濾網(wǎng)Ⅰ，所述水平過濾網(wǎng)Ⅰ上方設(shè)有同心的環(huán)形過濾筒，所述環(huán)形過濾筒內(nèi)懸設(shè)有攪拌機構(gòu)，所述一級過濾釜頂部設(shè)有固液混合物投口、超純水入口和溶劑入口，一級過濾釜底部設(shè)有三通接頭并利用三通接頭連接有廢水輸送管路和再過濾輸送管路，所述再過濾輸送管路末端設(shè)有提升泵，所述二級過濾罐底面中心支撐有納濾裝置，所述納濾裝置的頂部支撐有過濾斗，所述過濾斗底部設(shè)有水平過濾網(wǎng)Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入過濾斗上部并安裝有分液器，所述納濾裝置外壁和二級過濾罐內(nèi)壁之間形成過濾腔，所述二級過濾罐底面對應(yīng)納濾裝置中心的位置開設(shè)有去往濃縮設(shè)備的出料口，所述過濾腔的底部開設(shè)有廢水輸出口。

上述的光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，所述一級過濾釜由球狀頂、球狀底和位于兩者之間的錐狀側(cè)壁組成，所述球狀頂?shù)某叽缧∮谇驙畹椎某叽纾鲥F狀側(cè)壁和環(huán)形過濾筒之間形成水洗快速泄流區(qū)，以加快對感光樹脂的水洗效率。

上述的光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，所述分液器由喇叭狀分液口、設(shè)于喇叭狀分液口端部的支架、設(shè)于支架上的錐形分液體，所述錐形分液體的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述錐形分液體和喇叭狀分液口之間形成環(huán)形錐狀分液通道。以均勻的將物料投入過濾斗內(nèi)。

上述的光刻膠生產(chǎn)用多階過濾裝置，所述水平過濾網(wǎng)Ⅱ的孔徑小于水平過濾網(wǎng)Ⅰ的孔徑。