[實用新型]光刻膠生產用多階過濾裝置

有效

• 申請號: 201921993305.1
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN211486811U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 王鴻巖;孫浩
• 申請（專利權）人: 遼寧靖帆新材料有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00
• 代理公司: 沈陽鼎恒知識產權代理事務所(普通合伙) 21245
• 代理人: 趙月娜

1.一種光刻膠生產用多階過濾裝置，包括一級過濾釜和二級過濾罐，其特征在于：所述一級過濾釜內下部設有水平過濾網Ⅰ，所述水平過濾網Ⅰ上方設有同心的環形過濾筒，所述環形過濾筒內懸設有攪拌機構，所述一級過濾釜頂部設有固液混合物投口、超純水入口和溶劑入口，一級過濾釜底部設有三通接頭并利用三通接頭連接有廢水輸送管路和再過濾輸送管路，所述再過濾輸送管路末端設有提升泵，所述二級過濾罐底面中心支撐有納濾裝置，所述納濾裝置的頂部支撐有過濾斗，所述過濾斗底部設有水平過濾網Ⅱ，所述提升泵的出口管路末端插入過濾斗上部并安裝有分液器，所述納濾裝置外壁和二級過濾罐內壁之間形成過濾腔，所述二級過濾罐底面對應納濾裝置中心的位置開設有去往濃縮設備的出料口，所述過濾腔的底部開設有廢水輸出口。

2.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述一級過濾釜由球狀頂、球狀底和位于兩者之間的錐狀側壁組成，所述球狀頂的尺寸小于球狀底的尺寸，所述錐狀側壁和環形過濾筒之間形成水洗快速泄流區。

3.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述分液器由喇叭狀分液口、設于喇叭狀分液口端部的支架、設于支架上的錐形分液體，所述錐形分液體的尖端朝向提升泵的出口管路末端端口，所述錐形分液體和喇叭狀分液口之間形成環形錐狀分液通道。

4.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述水平過濾網Ⅱ的孔徑小于水平過濾網Ⅰ的孔徑。

5.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述納濾裝置由上支撐環、下支撐環、連接于上、下支撐環之間的納濾膜筒組成，所述過濾斗的底部邊緣設有與上支撐環配合的凹槽，且凹槽底面與上支撐環上表面之間設有密封墊，所述二級過濾罐底面上設有與下支撐環配合的定位槽，所述定位槽內沿設有對應下支撐環的環形密封壓圈。

6.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述過濾斗頂部邊沿設有翻邊且翻邊掛于二級過濾罐上沿，所述二級過濾罐頂部設有與所述翻邊扣合的壓蓋。

7.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述攪拌機構由攪拌電機、攪拌桿、設于攪拌桿上的攪拌槳組成。

8.根據權利要求1所述的光刻膠生產用多階過濾裝置，其特征在于：所述廢水輸送管路設有電磁閥Ⅰ，所述再過濾輸送管路上設有與電磁閥Ⅰ不同時開啟的電磁閥Ⅱ。