[實用新型]一種激光芯片老化處理設備及其芯片夾具

有效

• 申請號: 201921979533.3
• 申請日: 2019-11-16
• 公開（公告）號: CN211928087U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 薛銀飛
• 申請（專利權）人: 天津市菲萊科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04;G01M11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種激光芯片老化處理設備及其芯片夾具，后者包括依次疊放連接的熱忱板、金屬層板、定位板和頂板，定位板上開設有芯片槽，芯片槽內以可移動的方式設置有撥板，芯片放置在芯片槽的內部時，撥板使得芯片的外表面抵靠在芯片槽的槽壁上。上述定位板上開設有與芯片形狀相適配的芯片槽，芯片槽的尺寸大于芯片的尺寸，撥板可在芯片槽的內部移動，在進行芯片定位時，芯片被放置到芯片槽的內部，撥板與芯片的外表面相抵靠，并且推動芯片移動，使得芯片與芯片槽的槽壁相抵靠，此時，撥板朝向芯片的側面和芯片槽與芯片接觸的槽壁對芯片進行限位，實現對芯片在X軸方向和Y軸方向的限位，使得芯片定位準確，芯片的測試精度得到保證。

技術領域

本實用新型涉及激光器技術領域，尤其涉及一種激光芯片老化處理設備及其芯片夾具。

背景技術

激光器的老化測試是激光器制造中很重要的步驟，而在該步驟中需要使用老化夾具對激光器的芯片進行固定。

現有技術中，固定芯片的夾具包括熱忱板、金屬層板、定位板和頂板，其中，定位板用于芯片的定位，定位板上開設有芯片槽，并且對應定位板的位置設置有拱形彈片，當進行芯片定位時，將芯片放置到芯片槽內，通過拱形彈片在X軸、Y軸和Z軸上的變形，推動芯片在三個方向上位移和壓緊，這就使得為了使芯片能夠有效進入或者離開芯片槽，芯片槽的尺寸需要遠大于芯片的尺寸，不僅不利于設備空間利用，且使得芯片易于發生X軸方向和Y軸方向的位移，從而造成芯片定位不準，造成測試數據不準；同時，頂板上的壓塊與頂板為一體化生產，由于與相關部件的摩擦頻繁，長時間使用易于造成壓塊磨損，整體更換的成本較高。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述存在的至少一個問題，該目的是通過以下技術方案實現的。

本實用新型提供了一種芯片夾具，用于激光芯片老化處理設備中，包括依次疊放連接的熱忱板、金屬層板、定位板和頂板，所述定位板上開設有芯片槽，所述芯片槽內可移動地安裝有撥板，芯片放置在所述芯片槽的內部時，在所述撥板的作用下所述芯片的外表面抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

這樣，定位板上開設有與芯片形狀相適配的芯片槽，芯片槽的尺寸大于芯片的尺寸，撥板可在芯片槽的內部移動，在進行芯片定位時，芯片被放置到芯片槽的內部，撥板與芯片的外表面相抵靠，并且推動芯片在X軸和Y軸方向移動，即可使得芯片與芯片槽的槽壁相抵靠，此時，撥板朝向芯片的側面和芯片槽與芯片接觸的槽壁對芯片進行限位，從而實現對芯片在X軸方向和Y軸方向的限位，進而使得芯片定位準確，芯片的測試精度得到保證。

進一步地，所述定位板上還開設有容納槽，所述容納槽與所述芯片槽貫通，所述撥板的一端設置在所述容納槽內，所述撥板的另一端設置在所述芯片槽內。

進一步地，所述撥板為彈性件，芯片放置在所述芯片槽的內部時，所述彈性件的彈性形變推動所述芯片抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

進一步地，所述彈性件的外表面與所述容納槽的槽壁之間具有預設間隔。

進一步地，所述容納槽與所述芯片槽的連通位置位于所述芯片槽一側的邊緣，延伸至所述芯片槽內的所述彈性件與遠離所述彈性件的槽壁形成用于定位所述芯片的限位空間。

進一步地，所述芯片槽位于所述定位板的邊緣，所述容納槽向所述定位板的內部延伸，所述容納槽包括U型部和延伸部，所述延伸部與所述U型部的底部連通，所述U型部的開口方向朝向所述芯片槽，所述U型部的一端與所述芯片槽連通，所述U型部的另一端的槽壁與所述彈性件的一端固接。

進一步地，所述彈性件的形狀與所述容納槽的形狀一致。

進一步地，所述彈性件的厚度小于或等于所述定位板的厚度。

進一步地，所述頂板朝向所述定位板的側面設置有壓塊，所述壓塊可拆卸地安裝于所述頂板，且在所述頂板與所述定位板連接時，所述壓塊抵靠在所述芯片的上表面。