[實用新型]一種激光芯片老化處理設備及其芯片夾具

有效

• 申請號: 201921979533.3
• 申請日: 2019-11-16
• 公開（公告）號: CN211928087U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 薛銀飛
• 申請（專利權）人: 天津市菲萊科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04;G01M11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片夾具，用于激光芯片老化處理設備，其特征在于，包括依次疊放連接的熱忱板、金屬層板、定位板和頂板；所述定位板上開設有芯片槽，所述芯片槽內可移動地安裝有撥板，芯片放置在所述芯片槽的內部時，在所述撥板的作用下所述芯片的外表面抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

2.根據權利要求1所述的芯片夾具，其特征在于，所述定位板上還開設有容納槽，所述容納槽與所述芯片槽貫通，所述撥板的一端設置在所述容納槽內，所述撥板的另一端設置在所述芯片槽內。

3.根據權利要求2所述的芯片夾具，其特征在于，所述撥板為彈性件，芯片放置在所述芯片槽的內部時，所述彈性件的彈性形變推動所述芯片抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

4.根據權利要求3所述的芯片夾具，其特征在于，所述彈性件的外表面與所述容納槽的槽壁之間具有預設間隔。

5.根據權利要求4所述的芯片夾具，其特征在于，所述容納槽與所述芯片槽的連通位置位于所述芯片槽一側的邊緣，延伸至所述芯片槽內的所述彈性件與遠離所述彈性件的槽壁形成用于定位所述芯片的限位空間。

6.根據權利要求5所述的芯片夾具，其特征在于，所述芯片槽位于所述定位板的邊緣，所述容納槽向所述定位板的內部延伸，所述容納槽包括U型部和延伸部，所述延伸部與所述U型部的底部連通，所述U型部的開口方向朝向所述芯片槽，所述U型部的一端與所述芯片槽連通，所述U型部的另一端的槽壁與所述彈性件的一端固接。

7.根據權利要求6所述的芯片夾具，其特征在于，所述彈性件的形狀與所述容納槽的形狀一致。

8.根據權利要求7所述的芯片夾具，其特征在于，所述彈性件的厚度小于或等于所述定位板的厚度。

9.根據權利要求1所述的芯片夾具，其特征在于，所述頂板朝向所述定位板的側面設置有壓塊，所述壓塊可拆卸地安裝于所述頂板，且在所述頂板與所述定位板連接時，所述壓塊抵靠在所述芯片的上表面。

10.一種激光芯片老化處理設備，包括芯片夾具，其特征在于，所述芯片夾具為如權利要求1-9任一項所述的芯片夾具。