[實用新型]一種雙氣源氣動系統

有效

• 申請號: 201921950276.0
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN211082456U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 曹建鋒
• 申請（專利權）人: 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: F15B21/00
• 分類號: F15B21/00;F15B15/20;F17D3/01
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 楊帆

本實用新型提出了一種雙氣源氣動系統，包括氣動控制系統和氣動冷卻系統，所述氣動控制系統和所述氣動冷卻系統分別使用兩路氣源作為動力源。通過該氣動系統，原機臺的氣動冷卻系統的溫控性能得到有效改善，并且解決了原機臺的氣動控制系統中真空隔離閥開閉不良的問題，使得機臺的穩定性得到較大提升。

技術領域

本實用新型涉及氣動系統領域，具體地涉及一種雙氣源氣動系統。

背景技術

現有技術中型號為TEL 85DD的雙真空腔DRM機臺的氣動控制系統與氣動冷卻系統共用一路壓縮干燥氣體(CDA)作為動力源，由于一路CDA的動力有限，一方面使得氣動冷卻系統的溫控效果較差，導致了機臺的上電極溫度經常發生較大偏差；另外一方面還造成了氣動控制系統中的真空隔離閥經常發生開閉異常等問題，增加了機臺的維護成本。

基于以上原因，本實用新型提出了一種雙氣源氣動系統，該氣動系統將氣動冷卻系統與氣動控制系統的CDA分離，為氣動冷卻系統增配了一路CDA，氣動控制系統仍使用原路CDA。使得機臺的氣動氣路減負優化，機臺的上電極溫控得到有效改善，同時，真空隔離閥開閉順暢，解決了機臺的泄漏率異常、流量控制異常等問題。

實用新型內容

本實用新型公開了一種雙氣源氣動系統，包括：氣動控制系統和氣動冷卻系統；氣動控制系統與第一氣源連通，氣動冷卻系統與第二氣源連通。

進一步地，氣動控制系統包含依次連接的第一氣動控制器和第二氣動控制器；以及第二氣動控制器分別與主反應腔傳送系統和傳送腔傳送系統連接；以及主反應腔傳送系統包含依次連接的主反應腔、背壓系統和傳送系統；以及傳送腔傳送系統包含依次連接的傳送腔和傳送系統。

進一步地，氣動冷卻系統包含真空腔的上電極和腔壁的溫度控制器。

進一步地，氣動冷卻系統位于機臺末端，為開路常通的泄壓狀態。

進一步地，第二氣動控制器與主反應腔傳送系統之間設置電磁閥；以及電磁閥與主反應腔傳送系統之間設置氣動閥和真空隔離閥；以及氣動閥為5/32寸接頭，真空隔離閥為1/4寸接頭。

本實用新型的主要特征點在于：該氣動系統中的氣動控制系統和氣動冷卻系統分別使用兩路氣源作為動力源。

通過使用該雙氣源氣動系統，可以得到以下有益效果：

(1)使得機臺的氣動氣路減負優化，機臺的上電極溫控精準性提高，溫度偏差減小；

(2)產品良率反饋良好，并且有小幅提升；

(3)真空隔離閥開閉順暢，解決了機臺的泄漏率異常、流量控制異常等問題，使得機臺的預防性維護的測機異常頻率由改進前的1次/周降為0，同時真空隔離閥的送修率由改進前的3顆/年降為1顆/年。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的實施例。

圖1為本實用新型一實施例提供的雙氣源氣動系統示意圖；

圖2為現有技術中的單氣源氣動系統示意圖；

圖3為使用了本實用新型的雙氣源氣動系統后的產品溫度對比統計圖；

圖4為使用了本實用新型的雙氣源氣動系統后的真空腔上電極溫度對比統計圖；

圖5為使用了本實用新型的雙氣源氣動系統后的產品良率對比統計圖。

附圖標記說明：