[實用新型]一種雙氣源氣動系統

有效

• 申請號: 201921950276.0
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN211082456U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 曹建鋒
• 申請（專利權）人: 和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: F15B21/00
• 分類號: F15B21/00;F15B15/20;F17D3/01
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 楊帆

1.一種雙氣源氣動系統，其特征在于，

包括氣動控制系統和氣動冷卻系統；

所述氣動控制系統與第一氣源(1)連通，所述氣動冷卻系統(8)與第二氣源連通(10)。

2.根據權利要求1所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述氣動控制系統包含第一氣動控制器(4)以及第二氣動控制器(5)。

3.根據權利要求2所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述第二氣動控制器(5)分別與主反應腔傳送系統(6)以及傳送腔傳送系統(7)連接。

4.根據權利要求3所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述主反應腔傳送系統(6)包含依次連接的主反應腔、背壓系統以及傳送系統；以及，

所述傳送腔傳送系統(7)包含依次連接的傳送腔以及傳送系統。

5.根據權利要求4所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述氣動冷卻系統(8)包含真空腔的上電極和腔壁的溫度控制器。

6.根據權利要求5所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述氣動冷卻系統(8)位于機臺末端，為開路常通的泄壓狀態。

7.根據權利要求5或6所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述第二氣動控制器(5)與所述主反應腔傳送系統(6)之間設置電磁閥(31)。

8.根據權利要求7所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述電磁閥(31)與所述主反應腔傳送系統(6)之間設置氣動閥(32)和真空隔離閥(33)。

9.根據權利要求8所述的雙氣源氣動系統，其特征在于，

所述氣動閥(32)為5/32寸接頭，所述真空隔離閥(33)為1/4寸接頭。