[實(shí)用新型]一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

有效

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• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN211036075U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文豪
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州豫榮真空鍍膜設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 重慶創(chuàng)新專利商標(biāo)代理有限公司 50125
• 代理人: 李智祥

本實(shí)用新型公開了一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，包括外殼、蓋板、第一伸縮桿和加熱框，所述外殼的一側(cè)固定有電機(jī)，所述外殼的頂部一端設(shè)置有第一轉(zhuǎn)軸，所述蓋板和外殼之間通過第一轉(zhuǎn)軸相連接，所述外殼內(nèi)固定有第一擋塊，所述外殼內(nèi)固定有第二擋塊，所述第一擋塊的上側(cè)放置有頂部回收板，所述第二擋塊上連接有連接塊，所述電機(jī)上連接有轉(zhuǎn)桿，遠(yuǎn)離電機(jī)的所述轉(zhuǎn)桿的一端固定有第一齒輪，所述連接塊上連接有連接固定桿。該便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備可通過滑動隔熱板隔絕加熱框內(nèi)部與加熱框外部，且方便根據(jù)半導(dǎo)體鍍膜元件的需求選擇合適的吸盤連接塊進(jìn)行安裝，并且方便操作人員對轉(zhuǎn)桿的整體長度進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)不同型號的半導(dǎo)體元件。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體材料在使用時有時需要在外部鍍上特定材質(zhì)的膜以對其進(jìn)行保護(hù)，常見的半導(dǎo)體鍍膜方法包括PVD鍍膜（物理鍍膜）、CVD鍍膜（化學(xué)鍍膜）離子鍍膜等，而物理鍍膜主要利用加熱可蒸發(fā)的鍍膜原料，使其轉(zhuǎn)化成蒸汽，并附著在半導(dǎo)體材料表面，從而達(dá)到鍍膜的效果。

現(xiàn)在市面上有各種各樣的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，但現(xiàn)在市面上的蒸發(fā)加熱式的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備不便于清理裝載鍍膜原料的坩堝，且坩堝大小固定，轉(zhuǎn)動角度固定，難以調(diào)整固定半導(dǎo)體元件的高度，對于不同半導(dǎo)體元件適應(yīng)性較差，且頂部的回收板清理起來較為麻煩，鍍膜時對于半導(dǎo)體材料側(cè)壁的處理較為不足，常使得底部鍍膜較厚，而側(cè)壁鍍膜較薄，并且固定半導(dǎo)體材料的吸盤也不方便跟換，因此市面上迫切需要能改進(jìn)便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備結(jié)構(gòu)的技術(shù)，來完善此設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的蒸發(fā)加熱式的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備不便于清理裝載鍍膜原料的坩堝，且坩堝大小固定，轉(zhuǎn)動角度固定，難以調(diào)整固定半導(dǎo)體元件的高度，對于不同半導(dǎo)體元件適應(yīng)性較差，且頂部的回收板清理起來較為麻煩，鍍膜時對于半導(dǎo)體材料側(cè)壁的處理較為不足，常使得底部鍍膜較厚，而側(cè)壁鍍膜較薄，并且固定半導(dǎo)體材料的吸盤也不方便跟換的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種便于清理的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，包括外殼、蓋板、第一伸縮桿和加熱框，所述外殼的一側(cè)固定有電機(jī)，其中，

所述外殼的頂部一端設(shè)置有第一轉(zhuǎn)軸，所述蓋板和外殼之間通過第一轉(zhuǎn)軸相連接，所述外殼內(nèi)固定有第一擋塊，所述外殼內(nèi)固定有第二擋塊，所述第一擋塊的上側(cè)放置有頂部回收板，所述第二擋塊上連接有連接塊；

所述電機(jī)上連接有轉(zhuǎn)桿，遠(yuǎn)離電機(jī)的所述轉(zhuǎn)桿的一端固定有第一齒輪，所述連接塊上連接有連接固定桿，遠(yuǎn)離連接塊的所述連接固定桿的一端設(shè)置有連接轉(zhuǎn)軸，所述連接轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有緊固螺栓組，所述第一伸縮桿和連接固定桿之間通過連接轉(zhuǎn)軸相連接，遠(yuǎn)離連接轉(zhuǎn)軸的所述第一伸縮桿的一側(cè)連接有緊固旋鈕，所述第一伸縮桿上連接有第二伸縮桿，所述第二伸縮桿的一端固定有連接接頭，所述連接接頭上連接有吸盤連接塊，所述吸盤連接塊上設(shè)置有第一螺紋；

所述外殼的底部固定有支撐桿，所述加熱框和外殼之間通過支撐桿相連接，所述加熱框內(nèi)設(shè)置有加熱管，所述加熱管上放置有加熱坩堝。

優(yōu)選的，所述連接固定桿包括第一固定桿、旋轉(zhuǎn)連接輪、第二固定桿、第二齒輪和底部固定桿，所述連接塊上連接有第一固定桿，所述第一固定桿的一端固定有旋轉(zhuǎn)連接輪，所述第二固定桿和第一固定桿之間通過旋轉(zhuǎn)連接輪相連接，遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)連接輪的所述第二固定桿的一端固定有第二齒輪，所述第二齒輪的一側(cè)固定有底部固定桿。

優(yōu)選的，所述第一齒輪垂直于第二齒輪，且轉(zhuǎn)桿和底部固定桿之間通過第一齒輪和于第二齒輪構(gòu)成齒輪轉(zhuǎn)動連接，并且第一固定桿和第二固定桿之間通過旋轉(zhuǎn)連接輪構(gòu)成轉(zhuǎn)動連接。

優(yōu)選的，所述連接固定桿和第一伸縮桿之間通過連接轉(zhuǎn)軸構(gòu)成旋轉(zhuǎn)連接，且第一伸縮桿和第二伸縮桿之間通過緊固旋鈕構(gòu)成伸縮固定結(jié)構(gòu)。