[實用新型]一種便于清理的半導體鍍膜設備

有效

• 申請號: 201921950117.0
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN211036075U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 李文豪
• 申請（專利權）人: 杭州豫榮真空鍍膜設備有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 重慶創新專利商標代理有限公司 50125
• 代理人: 李智祥

1.一種便于清理的半導體鍍膜設備，包括外殼（1）、蓋板（4）、第一伸縮桿（14）和加熱框（21），其特征在于：所述外殼（1）的一側固定有電機（2），其中，

所述外殼（1）的頂部一端設置有第一轉軸（3），所述蓋板（4）和外殼（1）之間通過第一轉軸（3）相連接，所述外殼（1）內固定有第一擋塊（5），所述外殼（1）內固定有第二擋塊（6），所述第一擋塊（5）的上側放置有頂部回收板（7），所述第二擋塊（6）上連接有連接塊（8）；

所述電機（2）上連接有轉桿（9），遠離電機（2）的所述轉桿（9）的一端固定有第一齒輪（10），所述連接塊（8）上連接有連接固定桿（11），遠離連接塊（8）的所述連接固定桿（11）的一端設置有連接轉軸（12），所述連接轉軸（12）上設置有緊固螺栓組（13），所述第一伸縮桿（14）和連接固定桿（11）之間通過連接轉軸（12）相連接，遠離連接轉軸（12）的所述第一伸縮桿（14）的一側連接有緊固旋鈕（15），所述第一伸縮桿（14）上連接有第二伸縮桿（16），所述第二伸縮桿（16）的一端固定有連接接頭（17），所述連接接頭（17）上連接有吸盤連接塊（18），所述吸盤連接塊（18）上設置有第一螺紋（19）；

所述外殼（1）的底部固定有支撐桿（20），所述加熱框（21）和外殼（1）之間通過支撐桿（20）相連接，所述加熱框（21）內設置有加熱管（22），所述加熱管（22）上放置有加熱坩堝（23）。

2.根據權利要求1所述的一種便于清理的半導體鍍膜設備，其特征在于：所述連接固定桿（11）包括第一固定桿（1101）、旋轉連接輪（1102）、第二固定桿（1103）、第二齒輪（1104）和底部固定桿（1105），所述連接塊（8）上連接有第一固定桿（1101），所述第一固定桿（1101）的一端固定有旋轉連接輪（1102），所述第二固定桿（1103）和第一固定桿（1101）之間通過旋轉連接輪（1102）相連接，遠離旋轉連接輪（1102）的所述第二固定桿（1103）的一端固定有第二齒輪（1104），所述第二齒輪（1104）的一側固定有底部固定桿（1105）。

3.根據權利要求2所述的一種便于清理的半導體鍍膜設備，其特征在于：所述第一齒輪（10）垂直于第二齒輪（1104），且轉桿（9）和底部固定桿（1105）之間通過第一齒輪（10）和于第二齒輪（1104）構成齒輪轉動連接，并且第一固定桿（1101）和第二固定桿（1103）之間通過旋轉連接輪（1102）構成轉動連接。

4.根據權利要求1所述的一種便于清理的半導體鍍膜設備，其特征在于：所述連接固定桿（11）和第一伸縮桿（14）之間通過連接轉軸（12）構成旋轉連接，且第一伸縮桿（14）和第二伸縮桿（16）之間通過緊固旋鈕（15）構成伸縮固定結構。

5.根據權利要求1所述的一種便于清理的半導體鍍膜設備，其特征在于：所述連接接頭（17）和吸盤連接塊（18）之間通過第一螺紋（19）構成螺紋連接，且吸盤連接塊（18）位于加熱坩堝（23）的上方。

6.根據權利要求1所述的一種便于清理的半導體鍍膜設備，其特征在于：所述加熱框（21）包括外框（2101）、底部隔熱板（2102）、頂部隔熱板（2103）、滑槽（2104）、滑動隔熱板（2105）和滑條（2106），所述外框（2101）的內部底端固定有底部隔熱板（2102）所述外框（2101）的內部頂端固定有頂部隔熱板（2103），所述外框（2101）上開設有滑槽（2104），所述外框（2101）上連接有滑動隔熱板（2105），所述滑動隔熱板（2105）的一側固定有滑條（2106）。