[實用新型]襯底支撐組件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921932647.2 | 申請日： | 2019-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN211578693U | 公開（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | M·R·賴斯;V·D·帕科 | 申請（專利權(quán)）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 汪駿飛;張鑫 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 襯底 支撐 組件 | ||
1.一種襯底支撐組件，其特征在于，所述襯底支撐組件包括：
主體，所述主體具有外頂表面、外側(cè)表面和外底表面，所述外頂表面、所述外側(cè)表面和所述外底表面包圍所述主體的內(nèi)部，所述主體包括：
接地電極，所述接地電極豎直地設置在所述主體的所述內(nèi)部并鄰近所述外側(cè)表面。
2.如權(quán)利要求1所述的襯底支撐組件，其中所述襯底支撐組件還包括：
加熱器，所述加熱器設置在所述主體的所述內(nèi)部中；
RF電極，所述RF電極設置在所述主體的所述內(nèi)部中；以及
HV ESC電極，所述HV ESC電極設置在所述主體的所述內(nèi)部中。
3.如權(quán)利要求2所述的襯底支撐組件，其中所述加熱器、所述RF電極、所述HV ESC電極中的每個設置在所述主體中的平行層上。
4.如權(quán)利要求3所述的襯底支撐組件，其中所述主體由氮化鋁或氧化鋁制成。
5.如權(quán)利要求1所述的襯底支撐組件，其中所述襯底支撐組件還包括：
軸，所述軸耦接到所述主體的所述外底表面。
6.如權(quán)利要求1所述的襯底支撐組件，其中所述接地電極具有圓柱形形狀并鄰近所述外側(cè)表面設置。
7.如權(quán)利要求6所述的襯底支撐組件，其中所述接地電極是籠。
8.如權(quán)利要求6所述的襯底支撐組件，其中所述接地電極沿著所述圓柱形形狀的半徑連續(xù)地為固體。
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