[實用新型]一種硅片清洗機換料裝置

有效

• 申請號: 201921919810.1
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN210816637U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 孫芳良
• 申請（專利權）人: 蘇州高新區鼎正精密機電有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種硅片清洗機換料裝置，包括底箱，所述底箱的頂部外壁設置有上筒，且上筒的內部設置有倒片機構，所述底箱的一側外壁開有進料槽，且進料槽的一側外壁設置有進料機構，底箱的另一側外壁開有出料槽，出料槽的一側外壁設置有出料機構，底箱的內部設置有換片機構，所述倒片機構包括設置于上筒一側外壁的電機，且電機的輸出軸固定連接有插接于上筒側面內壁的轉殼，轉殼的側面內壁滑動連接有清洗籃，轉殼位于清洗籃上方的側面內壁滑動連接有與清洗籃相對應的卸料塊，所述換片機構包括設置于底箱底部內壁的氣桿。本實用新型方便快捷，節省時間，能使上料塊和卸料塊與移動塊之間能精準定位，提高了清洗籃的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及硅片清洗技術領域，尤其涉及一種硅片清洗機換料裝置。

背景技術

硅片在完成化學機械拋光后，硅片表面會形成一層活躍的單晶硅原子，活躍的硅原子將有一個未配對的電子，會吸附正、負電荷等外來雜質，故要對硅片進行清洗，現有的硅片清洗是將硅片有序排列在清洗籃中，在放入清洗池中進行清洗。

在清洗后通常需要對清洗籃中的硅片進行換料以進行下次清洗，現有的換料方式通常是工作人員將清洗籃中的硅片依次取出，再將未清洗的硅片放入清洗籃中，效率極為低下。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種硅片清洗機換料裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種硅片清洗機換料裝置，包括底箱，所述底箱的頂部外壁設置有上筒，且上筒的內部設置有倒片機構，所述底箱的一側外壁開有進料槽，且進料槽的一側外壁設置有進料機構，底箱的另一側外壁開有出料槽，出料槽的一側外壁設置有出料機構，底箱的內部設置有換片機構。

進一步的，所述倒片機構包括設置于上筒一側外壁的電機，且電機的輸出軸固定連接有插接于上筒側面內壁的轉殼，轉殼的側面內壁滑動連接有清洗籃，轉殼位于清洗籃上方的側面內壁滑動連接有與清洗籃相對應的卸料塊。

進一步的，所述換片機構包括設置于底箱底部內壁的氣桿，且氣桿的頂部外壁設置有移動塊，移動塊的頂部外壁開有與卸料塊相適配的弧形槽。

進一步的，所述進料機構包括設置于底箱一側外壁的進料架，且進料架的底部外壁設置有前支撐腿，進料架的頂部外壁放置有上料塊，上料塊與卸料塊結構相同，上料塊和卸料塊的側面外壁均設置有限位板。

進一步的，所述出料機構包括設置于底箱一側外壁的出料架，且出料架的底部外壁設置有后支撐腿。

進一步的，所述移動塊的頂部外壁開有定位塊槽，且定位塊槽的底部內壁設置有彈簧，彈簧的頂部外壁設置有定位塊，卸料塊和上料塊的底部外壁均開有與定位塊相適配的定位塊槽。

進一步的，所述轉殼的一側外壁開有插銷槽，且插銷槽的側面內壁滑動連接有插銷。

本實用新型的有益效果為：

1、通過設置上料塊和卸料塊，當需要進行換料時，將裝有清洗后硅片的清洗籃放入轉殼中，轉動轉殼即可使清洗后的硅片倒入卸料塊中，再將裝有未清洗硅片的上料塊推入，將卸料塊頂出，轉殼轉動即可使未清洗的硅片倒入清洗籃中，繼而完成換料，方便快捷，節省時間。

2、通過設置定位塊和定位槽，在移動塊上設置定位塊，在卸料塊和上料塊上設置定位槽，繼而能使上料塊和卸料塊與移動塊之間能精準定位。

3、通過設置插銷和插銷槽，在轉殼的一側設置插銷和插銷槽，當清洗籃推入轉殼中后，將插銷插在清洗籃的一側，繼而即可防止清洗籃轉動時晃動，提高了清洗籃的穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種硅片清洗機換料裝置的整體結構示意圖；