[實用新型]一種硅片清洗機換料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921919810.1
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN210816637U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫芳良
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州高新區(qū)鼎正精密機電有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片清洗機換料裝置，包括底箱(1)，其特征在于，所述底箱(1)的頂部外壁設(shè)置有上筒(6)，且上筒(6)的內(nèi)部設(shè)置有倒片機構(gòu)，所述底箱(1)的一側(cè)外壁開有進料槽(11)，且進料槽(11)的一側(cè)外壁設(shè)置有進料機構(gòu)，底箱(1)的另一側(cè)外壁開有出料槽(17)，出料槽(17)的一側(cè)外壁設(shè)置有出料機構(gòu)，底箱(1)的內(nèi)部設(shè)置有換片機構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述倒片機構(gòu)包括設(shè)置于上筒(6)一側(cè)外壁的電機(5)，且電機(5)的輸出軸固定連接有插接于上筒(6)側(cè)面內(nèi)壁的轉(zhuǎn)殼(8)，轉(zhuǎn)殼(8)的側(cè)面內(nèi)壁滑動連接有清洗籃(9)，轉(zhuǎn)殼(8)位于清洗籃(9)上方的側(cè)面內(nèi)壁滑動連接有與清洗籃(9)相對應(yīng)的卸料塊(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述換片機構(gòu)包括設(shè)置于底箱(1)底部內(nèi)壁的氣桿(16)，且氣桿(16)的頂部外壁設(shè)置有移動塊(18)，移動塊(18)的頂部外壁開有與卸料塊(7)相適配的弧形槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述進料機構(gòu)包括設(shè)置于底箱(1)一側(cè)外壁的進料架(14)，且進料架(14)的底部外壁設(shè)置有前支撐腿(15)，進料架(14)的頂部外壁放置有上料塊(13)，上料塊(13)與卸料塊(7)結(jié)構(gòu)相同，上料塊(13)和卸料塊(7)的側(cè)面外壁均設(shè)置有限位板(12)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述出料機構(gòu)包括設(shè)置于底箱(1)一側(cè)外壁的出料架(3)，且出料架(3)的底部外壁設(shè)置有后支撐腿(2)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述移動塊(18)的頂部外壁開有定位塊槽，且定位塊槽的底部內(nèi)壁設(shè)置有彈簧(20)，彈簧(20)的頂部外壁設(shè)置有定位塊(19)，卸料塊(7)和上料塊(13)的底部外壁均開有與定位塊(19)相適配的定位塊槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗機換料裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)殼(8)的一側(cè)外壁開有插銷槽(4)，且插銷槽(4)的側(cè)面內(nèi)壁滑動連接有插銷(10)。