[實用新型]一種分體防污裝置

有效

• 申請號: 201921916811.0
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN211036084U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 高軍政;馬文鵬;黨亞軍;任海軍;張國同;陳新;趙學正;羅鵬
• 申請（專利權）人: 南陽清水科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京名華博信知識產權代理有限公司 11453
• 代理人: 王帆

本實用新型公開了一種分體防污裝置，包括底板支柱、法蘭座、支撐底板、防污板支柱，所述法蘭座和陰極組裝，陰極包括靶材、磁棒、驅動端和支撐端，所述靶材和磁棒一端連接驅動端，另一端連接支撐端，所述底板支柱緊固在法蘭座上，所述底板支柱上支撐著支撐底板并用螺釘鎖緊固定，所述防污板支柱組裝在支撐底板上，所述防污板支柱支撐并用第一固定螺釘分別固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分別用第二固定螺釘固定在法蘭座的法蘭面上。本新型可可以不拆除靶材而實現防污板的清潔保養，且能夠快捷拆除和安裝防污板。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射鍍膜機技術領域，尤其涉及一種分體防污裝置。

背景技術

陰極是磁控濺射鍍膜機中一個關鍵部件，陰極中的靶材表面在離子轟擊后發生濺射，膜料離子在電場和磁場作用下沉積在基片表面，從而完成鍍膜過程，在這個過程中，不可避免的有部分膜料濺射到不是基片的位置，所以圍繞著陰極周邊，設計防污板，避免陰極法蘭座等不易拆卸的大型結構件內腔被污染。

在磁控濺射鍍膜機使用過程中，隨著工作時間持續，防污板表面上沉積了厚厚一層膜料層，防污板上膜料層會產生脫皮、廢料顆粒等現象，影響鍍膜機的成膜質量。

現有技術中，絕大多數需要拆解防污板清潔，大多數情況下，防污板拆下時，靶材尚未消耗殆盡，造成了靶材浪費，因此如何設計出在不拆靶材情況下拆解防污板，實現防污板和板材分體結構，且兩者便于拆解和組裝，成為了本領域的一個攻關課題。

實用新型內容

為了克服現有技術的上述缺點，本實用新型提供了一種分體防污裝置，本裝置可以不拆除靶材而實現防污板的清潔保養，且能夠快捷拆除和安裝防污板。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種分體防污裝置，包括底板支柱、法蘭座、支撐底板、防污板支柱，所述法蘭座和陰極組裝，陰極包括靶材、磁棒、驅動端和支撐端，靶材和磁棒連接為一體，所述靶材和磁棒一端連接驅動端，另一端連接支撐端，所述底板支柱緊固在法蘭座上，所述底板支柱上支撐著支撐底板并用螺釘鎖緊固定，所述防污板支柱組裝在支撐底板上，所述防污板支柱支撐并用第一固定螺釘分別固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分別用第二固定螺釘固定在法蘭座的法蘭面上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果為：本新型可以分解拆開，便于設備維護和保養，其中，底板支柱緊固在法蘭座上，然后底板支柱支撐著支撐底板并用螺釘鎖緊固定，防污板支柱組裝在支撐底板上，防污板支柱支撐并用第一固定螺釘固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分別用第二固定螺釘固定在法蘭座的法蘭面上。當法蘭座和陰極（含靶材、磁棒、驅動端和支撐端）組裝后，靶材濺射時會有部分膜料濺射到陰極法蘭座上，為保持陰極法蘭座內腔潔凈，特設計一層防污板安裝在法蘭座內腔面上。靶材使用周期較長，當法蘭座內腔防污板被膜料濺射到一定程度（靶材尚未消耗完畢，需要清潔防污板）后變臟，此時要將防污板取出噴砂脫脂洗凈，這種分體防污板結構優點在于可以不拆除靶材而實現防污板的清潔保養，快捷拆除和安裝防污板，且避免未用完的靶材浪費。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1所示為本實用新型結構示意圖；

圖2所示為圖1的B-B剖面圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述：