[實用新型]一種分體防污裝置

有效

• 申請號: 201921916811.0
• 申請日: 2019-11-08
• 公開（公告）號: CN211036084U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 高軍政;馬文鵬;黨亞軍;任海軍;張國同;陳新;趙學正;羅鵬
• 申請（專利權）人: 南陽清水科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京名華博信知識產權代理有限公司 11453
• 代理人: 王帆

1.一種分體防污裝置，其特征在于：包括底板支柱、法蘭座、支撐底板、防污板支柱，所述法蘭座和陰極組裝，陰極包括靶材、磁棒、驅動端和支撐端，靶材和磁棒連接為一體，所述靶材和磁棒一端連接驅動端，另一端連接支撐端，所述底板支柱緊固在法蘭座上，所述底板支柱上支撐著支撐底板并用螺釘鎖緊固定，所述防污板支柱組裝在支撐底板上，所述防污板支柱支撐并用第一固定螺釘分別固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分別用第二固定螺釘固定在法蘭座的法蘭面上。