[實用新型]一種環(huán)保型硅片清洗機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921911010.5
• 申請日: 2019-11-07
• 公開（公告）號: CN211071092U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸敏
• 申請（專利權(quán)）人: 四川晶美硅業(yè)科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/12;H01L21/67;H01L21/687;B01D53/18
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

本實用新型公開了一種環(huán)保型硅片清洗機，包括殼體、支撐腳和上蓋，殼體底端固定設(shè)有攪拌電機，攪拌電機的輸出端貫穿殼體至殼體內(nèi)部，且輸出端與硅片固定裝置相連，硅片固定裝置上的前夾板與后夾板相鉸接，前夾板尺寸與后夾板相同；鎖耳焊接在前夾板兩側(cè)；鎖扣焊接在后夾板兩側(cè)，且與鎖耳相匹配；連接柱桿焊接在前夾板中部；卡槽采用多個，前夾板和后夾板均采用鏤空結(jié)構(gòu)，殼體內(nèi)壁四周固定設(shè)有電加熱器，殼體內(nèi)壁底部固定設(shè)有超聲波發(fā)生器，殼體側(cè)壁上端設(shè)置有進水管，加水管向?qū)γ娴臍んw上還設(shè)有排氣管，排氣管與廢氣處理裝置相連，殼體側(cè)壁下端設(shè)有排水管。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便快捷、清洗效率高和更加環(huán)保等優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于硅片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種環(huán)保型硅片清洗機。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴格清洗，微量污染也會導(dǎo)致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法將硅片表面雜質(zhì)去除，化學(xué)清洗主要采用清洗液直接浸泡清洗，實際生產(chǎn)過程中，直接浸泡時硅片往往放置于吊籃內(nèi)浸入溶液，由于硅片之間相互疊加，導(dǎo)致清洗不均勻，而且硅片與吊籃的接觸面積較大，也容易產(chǎn)生沖洗不干凈的質(zhì)量問題。

中國專利公開號為CN 107716440 A，發(fā)明創(chuàng)造的名稱為一種太陽能硅片清洗機，包括清洗機本體，所述清洗機本體的底部四角均開設(shè)有調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)槽的兩側(cè)內(nèi)壁上均開設(shè)有驅(qū)動槽，開設(shè)在同一個調(diào)節(jié)槽上的兩個驅(qū)動槽相互遠離的一側(cè)內(nèi)壁上均滑動安裝有推桿電機，所述調(diào)節(jié)槽的項部內(nèi)壁上鉸接有兩個對稱設(shè)置的上支桿，所述上支桿的底端延伸至相對應(yīng)的驅(qū)動槽內(nèi)并與推桿電機的輸出軸轉(zhuǎn)動安裝，所述推桿電機的輸出軸上還轉(zhuǎn)動安裝有下支桿，本發(fā)明實用性能高，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，便于對滾輪進行移動，從而便對清洗機本體進行移動，能夠?qū)L輪收進調(diào)節(jié)槽內(nèi)，對滾輪進行保護，增加了滾輪的使用壽命，且便于對滾輪進行拆卸更換，方便了人們的使用。但是現(xiàn)有硅片清洗機多個清洗槽進行清洗作業(yè)，容易造成硅片污染，并且清洗機清洗時會發(fā)生有機廢氣污染環(huán)境。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便快捷、清洗效率高和更加環(huán)保的硅片清洗機。

本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

一種環(huán)保型硅片清洗機，包括殼體、支撐腳和上蓋，上蓋設(shè)置在殼體上端，支撐腳固定設(shè)置在殼體下端，其特征在于：所述殼體底端固定設(shè)置有攪拌電機，所述攪拌電機的輸出端貫穿殼體至殼體內(nèi)部，且輸出端與硅片固定裝置相連，所述硅片固定裝置包括前夾板、后夾板、連接柱、卡槽、鎖耳和鎖扣，所述前夾板與后夾板相鉸接，前夾板尺寸與后夾板相同；所述鎖耳焊接在前夾板的兩側(cè)；所述鎖扣焊接在后夾板的兩側(cè)，且與鎖耳相匹配；所述連接柱桿焊接在前夾板中部；所述卡槽采用多個，焊接在前夾板的后側(cè)，與硅片尺寸匹配；所述前夾板和后夾板均采用鏤空結(jié)構(gòu)，所述殼體內(nèi)壁四周固定設(shè)置有電加熱器，所述殼體內(nèi)壁底部固定設(shè)置有超聲波發(fā)生器，所述殼體側(cè)壁上端設(shè)置有進水管，所述加水管向?qū)γ娴臍んw上還設(shè)置有排氣管，所述排氣管與廢氣處理裝置相連，所述殼體側(cè)壁下端設(shè)置有排水管。

優(yōu)選的，所述廢氣處理裝置包括下部的儲液箱和上部的噴淋吸收塔，所述儲液箱內(nèi)盛裝有吸收液，所述儲液箱與噴淋吸收塔的內(nèi)部相連通，所述噴淋吸收塔從下而上依次為進氣室、氣液接觸填料層、噴淋層、旋流除霧板、除霧填料層和絲網(wǎng)除霧層，所述進氣室的一側(cè)設(shè)有進氣口，所述進氣口與排氣管相連，所述噴淋吸收塔的頂部設(shè)有排空管，所述噴淋層的上部設(shè)有吸收液噴頭，所述儲液箱內(nèi)的吸收液經(jīng)循環(huán)泵輸送至吸收液噴頭。

優(yōu)選的，所述氣液接觸填料層和除霧填料層內(nèi)填充的填料為聚乙烯制成的多面空心球。

優(yōu)選的，所述絲網(wǎng)除霧層內(nèi)填充的填料為不銹鋼絲網(wǎng)或鋁合金絲網(wǎng)。

優(yōu)選的，所述排氣管下方的殼體內(nèi)壁上設(shè)置有液位計。

優(yōu)選的，所述連接柱內(nèi)部設(shè)置有外螺紋。