[實用新型]一種環(huán)保型硅片清洗機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921911010.5
• 申請日: 2019-11-07
• 公開（公告）號: CN211071092U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設計）人: 陸敏
• 申請（專利權）人: 四川晶美硅業(yè)科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/12;H01L21/67;H01L21/687;B01D53/18
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

1.一種環(huán)保型硅片清洗機，包括殼體（1）、支撐腳（2）和上蓋（3），上蓋（3）設置在殼體（1）上端，支撐腳（2）固定設置在殼體（1）下端，其特征在于：所述殼體（1）底端固定設置有攪拌電機（4），所述攪拌電機（4）的輸出端貫穿殼體（1）至殼體（1）內部，且輸出端與硅片固定裝置（5）相連，所述硅片固定裝置（5）包括前夾板（5.1）、后夾板（5.2）、連接柱（5.3）、卡槽（5.4）、鎖耳（5.5）和鎖扣（5.6），所述前夾板（5.1）與后夾板（5.2）相鉸接，前夾板（5.1）尺寸與后夾板（5.2）相同；所述鎖耳（5.5）焊接在前夾板（5.1）的兩側；所述鎖扣（5.6）焊接在后夾板（5.2）的兩側，且與鎖耳（5.5）相匹配；所述連接柱（5.3）桿焊接在前夾板（5.1）中部；所述卡槽（5.4）采用多個，焊接在前夾板（5.1）的后側，與硅片尺寸匹配；所述前夾板（5.1）和后夾板（5.2）均采用鏤空結構，所述殼體（1）內壁四周固定設置有電加熱器（6），所述殼體（1）內壁底部固定設置有超聲波發(fā)生器（7），所述殼體（1）側壁上端設置有進水管（8），所述進水管（8）向對面的殼體（1）上還設置有排氣管（9），所述排氣管（9）與廢氣處理裝置（11）相連，所述殼體（1）側壁下端設置有排水管（10）。

2.如權利要求1所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述廢氣處理裝置（11）包括下部的儲液箱（11.1）和上部的噴淋吸收塔（11.2），所述儲液箱（11.1）內盛裝有吸收液，所述儲液箱（11.1）與噴淋吸收塔（11.2）的內部相連通，所述噴淋吸收塔（11.2）從下而上依次為進氣室（11.3）、氣液接觸填料層（11.4）、噴淋層（11.5）、旋流除霧板（11.6）、除霧填料層（11.7）和絲網除霧層（11.8），所述進氣室（11.3）的一側設有進氣口（11.9），所述進氣口（11.9）與排氣管（9）相連，所述噴淋吸收塔（11.2）的頂部設有排空管（11.10），所述噴淋層（11.5）的上部設有吸收液噴頭（11.11），所述儲液箱（11.1）內的吸收液經循環(huán)泵（11.12）輸送至吸收液噴頭（11.11）。

3.如權利要求2所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述氣液接觸填料層（11.4）和除霧填料層（11.7）內填充的填料為聚乙烯制成的多面空心球。

4.如權利要求2所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述絲網除霧層（11.8）內填充的填料為不銹鋼絲網或鋁合金絲網。

5.如權利要求1所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述排氣管（9）下方的殼體（1）內壁上設置有液位計（12）。

6.如權利要求1所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述連接柱（5.3）內部設置有外螺紋。

7.如權利要求6所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述攪拌電機（4）的輸出端上設置有與連接柱（5.3）內部內螺紋相匹配的外螺紋。

8.如權利要求1所述的一種環(huán)保型硅片清洗機，其特征在于：所述上蓋（3）上設置有把手（13）。