[實用新型]一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置

有效

• 申請號: 201921908562.0
• 申請日: 2019-11-07
• 公開（公告）號: CN211757120U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 沈澤康;陳曉靜
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的一側內部固定連接有底座（23），所述底座（23）的內部中心處固定連接有第一電機（10），所述第一電機（10）的轉動軸的頂端固定連接有轉盤（14），所述轉盤（14）的頂端固定連接有多個吸盤（15），所述底板（1）的底端固定連接有廢液槽（11），所述底板（1）的中心處固定連接有升降槽（19），所述升降槽（19）的底端中心處固定連接有第五電機（7），所述第五電機（7）的轉動軸的頂端固定連接有螺紋桿（6），所述升降槽（19）的內部滑動連接有升降座（18），所述升降座（18）的內部中心處螺紋傳動連接有螺紋桿（6），所述升降座（18）的頂端固定連接有第二電機（17），所述第二電機（17）的轉動軸的前端固定連接有第二轉動座（24），所述第二轉動座（24）的頂端固定連接有第三電機（20），所述第三電機（20）的轉動軸的前端固定連接有第一轉動座（21），所述第一轉動座（21）的頂端固定連接有第四電機（22），所述第四電機（22）的轉動軸的前端固定連接有固定套（16），所述固定套（16）的中心處固定連接有連接管（3），所述連接管（3）的一端螺紋連接有噴頭（4），所述連接管（3）的另一端固定連接有軟管（5），所述軟管（5）遠離連接管（3）的一端固定連接有水泵（9），所述水泵（9）的另一端連接有清洗液槽（8）。

2.根據權利要求1所述的一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，其特征在于：所述底座（23）的周側設置有聚水槽（13），所述聚水槽（13）的一側底端設置有排水口（12），所述排水口（12）穿過底板（1）延伸至廢液槽（11）的內部。

3.根據權利要求1所述的一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，其特征在于：多個所述吸盤（15）遠離轉盤（14）的一端吸附連接有單晶碳化硅晶片，多個所述吸盤（15）一共四個分布在轉盤（14）的頂端。

4.根據權利要求1所述的一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，其特征在于：所述升降座（18）的底端兩側設置有凸起，所述升降槽（19）在與升降座（18）的滑動連接處設置有對應的滑槽。

5.根據權利要求1所述的一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，其特征在于：所述升降座（18）的內部設置有螺母，所述螺紋桿（6）與升降座（18）內部的螺母進行傳動連接。

6.根據權利要求1所述的一種單晶碳化硅晶片的清洗裝置，其特征在于：所述底板（1）的頂端設置有防塵罩（2），所述防塵罩（2）的一端設置在遠離聚水槽（13）的位置，所述防塵罩（2）的另一端設置在水泵（9）的中心處。