[實用新型]MEMS麥克風及電子裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921888106.4
• 申請日: 2019-11-05
• 公開（公告）號: CN210431879U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設計）人: 魏丹珠;閭新明
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路制造（紹興）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;B81B3/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周玲

本申請涉及一種MEMS麥克風及電子裝置；其中，MEMS麥克風，包括：振動膜；背板，被絕緣支撐于振動膜表面，背板與振動膜構成可變電容；背板開設有若干穿透背板的第一聲孔和第二聲孔；各第一聲孔相互間隔設置、且呈蜂窩狀排布；各第二聲孔圍繞排布各第一聲孔的區(qū)域外側設置；第二聲孔的尺寸小于第一聲孔；振動膜上開設有貫穿振動膜的泄氣結構。本申請能夠減弱氣流集中作用在振動膜的可能，并使得背板獲得更強的抗壓能力。

技術領域

本申請涉及MEMS器件技術領域，特別是涉及一種MEMS麥克風及電子裝置。

背景技術

常規(guī)MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微型機電系統(tǒng))麥克風設計有聲孔。MEMS麥克風主要由振膜在氣流的作用下振動，因此一般都會設計泄氣孔防止振膜受壓力過大而崩壞。

在實現過程中，發(fā)明人發(fā)現傳統(tǒng)技術中至少存在如下問題：傳統(tǒng)技術中的聲孔設計易降低背板的強度。

實用新型內容

基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種能夠提高背板的強度的MEMS麥克風及電子裝置。

為了實現上述目的，一方面，本實用新型實施例提供了一種MEMS麥克風，包括：

振動膜；

背板，被絕緣支撐于振動膜表面，背板與振動膜構成可變電容；

背板開設有若干穿透背板的第一聲孔和第二聲孔；各第一聲孔相互間隔設置、且呈蜂窩狀排布；各第二聲孔圍繞排布各第一聲孔的區(qū)域外側設置；第二聲孔的尺寸小于第一聲孔；

振動膜上開設有貫穿振動膜的泄氣結構。

在其中一個實施例中，泄氣結構包括設于振動膜的中心區(qū)域內的中心孔，和圍繞中心孔設置、位于振動膜的邊緣區(qū)域內的環(huán)繞孔。

在其中一個實施例中，環(huán)繞孔的數量為至少兩個；各環(huán)繞孔在水平面上的投影位于設置各第二聲孔的區(qū)域外側。

在其中一個實施例中，中心區(qū)域為直徑范圍為4um～100um的圓形區(qū)域；中心孔的直徑范圍為1um～8um。

在其中一個實施例中，中心孔的形狀包括太極魚形、電風扇形、百葉窗形和同心圓形。

在其中一個實施例中，環(huán)繞孔的數量為4個；環(huán)繞孔為槽口指向中心孔的單道圓弧槽。

在其中一個實施例中，單道圓弧槽的端部為圓形孔或正六邊形孔。

在其中一個實施例中，第一聲孔為正六邊形；第二聲孔為圓形；

各第一聲孔呈蜂窩狀設置、直至排滿背板；其中，各第一聲孔中任意平行且相對的兩邊之間的距離為0.5um～4um；

各第二聲孔分布于設置各第一聲孔的區(qū)域外側的邊緣空白區(qū)；其中，任兩個第二聲孔的間距為3um～10um。

在其中一個實施例中，第一聲孔的直徑范圍為3um～8um；第二聲孔的直徑范圍為1～3um。

另一方面，本實用新型實施例提供了一種電子裝置，電子裝置包括前述任一項的MEMS麥克風。

上述技術方案中的一個技術方案具有如下優(yōu)點和有益效果：

本申請?zhí)岢龃舐暱?即各第一聲孔)與邊緣小聲孔(即各第二聲孔)的設計，增大了聲孔面積，同時提高了背板強度；具體的，本申請中若干大聲孔、形似蜂窩排列，進而得到面積最大聲孔排布方式，同時在各大聲孔的最外圍及空隙處分布小聲孔，增加極板抵御氣壓的強度；本申請能夠減弱氣流集中作用在下極板(即振動膜)的可能，并使得上極板(即背板)獲得更強的抗壓能力。

附圖說明