[實用新型]MEMS麥克風及電子裝置

有效

• 申請號: 201921888106.4
• 申請日: 2019-11-05
• 公開（公告）號: CN210431879U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 魏丹珠;閭新明
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路制造（紹興）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;B81B3/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周玲

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：

振動膜；

背板，被絕緣支撐于所述振動膜表面，所述背板與所述振動膜構成可變電容；

所述背板開設有若干穿透所述背板的第一聲孔和第二聲孔；各所述第一聲孔相互間隔設置、且呈蜂窩狀排布；各所述第二聲孔圍繞排布各所述第一聲孔的區域外側設置；所述第二聲孔的尺寸小于所述第一聲孔；

所述振動膜上開設有貫穿所述振動膜的泄氣結構。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述泄氣結構包括設于所述振動膜的中心區域內的中心孔，和圍繞所述中心孔設置、位于所述振動膜的邊緣區域內的環繞孔。

3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述環繞孔的數量為至少兩個；各所述環繞孔在水平面上的投影位于設置各所述第二聲孔的區域外側。

4.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述中心區域為直徑范圍為4um～100um的圓形區域；所述中心孔的直徑范圍為1um～8um。

5.根據權利要求4所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述中心孔的形狀包括太極魚形、電風扇形、百葉窗形和同心圓形。

6.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述環繞孔的數量為4個；所述環繞孔為槽口指向所述中心孔的單道圓弧槽。

7.根據權利要求6所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述單道圓弧槽的端部為圓形孔或正六邊形孔。

8.根據權利要求1至7任一項所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一聲孔為正六邊形；所述第二聲孔為圓形；

各所述第一聲孔呈蜂窩狀設置、直至排滿所述背板；其中，各所述第一聲孔中任意平行且相對的兩邊之間的距離為0.5um～4um；

各所述第二聲孔分布于設置各所述第一聲孔的區域外側的邊緣空白區；其中，任兩個所述第二聲孔的間距為3um～10um。

9.根據權利要求8所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述第一聲孔的直徑范圍為3um～8um；所述第二聲孔的直徑范圍為1～3um。

10.一種電子裝置，其特征在于，所述電子裝置包括權利要求1至9任一項所述的MEMS麥克風。