[實(shí)用新型]一種導(dǎo)片裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921859210.0 | 申請日: | 2019-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN210403681U | 公開(公告)日: | 2020-04-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李兵;陳瑤;鄧偉偉 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215129 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 裝置 | ||
本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開一種導(dǎo)片裝置。該導(dǎo)片裝置包括緩存架和取片架,緩存架設(shè)置于硅片花籃的開口處,緩存架包括兩個(gè)相對設(shè)置的承載架,每個(gè)承載架上均沿豎直方向間隔設(shè)置有多個(gè)第二卡片板,相鄰兩個(gè)第二卡片板之間形成用于放置硅片的第二卡槽,第二卡槽與硅片花籃上相鄰兩個(gè)第一卡片板之間形成的第一卡槽一一對應(yīng),取片架包括多個(gè)沿豎直方向間隔設(shè)置的插片板,多個(gè)插片板均能伸入位于第一卡槽或第二卡槽的硅片的底部,并將硅片托起進(jìn)行轉(zhuǎn)移。該導(dǎo)片裝置結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,導(dǎo)片速度快,制造成本較低,且在導(dǎo)片過程中,硅片不與第一卡片板或者第二卡片板接觸,不會(huì)造成硅片邊緣劃傷,能夠保證硅片的質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種導(dǎo)片裝置。
背景技術(shù)
太陽能是一種清潔的可再生能源,以光伏效應(yīng)為基礎(chǔ)的太陽能電池有著美好的應(yīng)用前景,太陽能電池是通過光電效應(yīng)或者光化學(xué)效應(yīng)直接把光能轉(zhuǎn)化成電能的裝置,其中硅太陽能電池是目前發(fā)展最成熟的。
在硅片的生產(chǎn)加工過程中,通常使用硅片花籃來承載硅片,如圖1所示,硅片花籃100包括花籃本體101和第一卡片板102,花籃本體101內(nèi)部相對的兩個(gè)側(cè)壁上均設(shè)置有多個(gè)第一卡片板102,多個(gè)第一卡片板102沿豎直方向間隔設(shè)置,同一側(cè)壁上相鄰的兩個(gè)第一卡片板102之間形成容納硅片的第一卡槽,花籃本體101上未設(shè)置第一卡片板102的一個(gè)側(cè)壁設(shè)置為開口,方便硅片的取放。在實(shí)際生產(chǎn)過程中,不同工序機(jī)臺對硅片花籃100的材質(zhì)或者尺寸有不同的要求,因此,常常需要將硅片由一個(gè)硅片花籃100轉(zhuǎn)移至另一個(gè)硅片花籃100中,現(xiàn)有技術(shù)中,通常是操作人員采用鑷子從一個(gè)硅片花籃100中取出硅片,并放置于另一個(gè)硅片花籃100內(nèi),但是這種方式轉(zhuǎn)移硅片的時(shí)間較長,工作效率較低,且容易對硅片造成污染和劃傷,同時(shí)增加了人力成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
基于以上所述,本實(shí)用新型的目的在于提供一種導(dǎo)片裝置,結(jié)構(gòu)簡單,工作效率較高,硅片不容易產(chǎn)生污染和劃傷,減少人力成本。
為達(dá)上述目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
一種導(dǎo)片裝置,用于硅片花籃內(nèi)的多個(gè)硅片的轉(zhuǎn)移,該導(dǎo)片裝置包括:
緩存架,其設(shè)置于所述硅片花籃的開口處,所述緩存架包括兩個(gè)相對設(shè)置的承載架,每個(gè)所述承載架上均沿豎直方向間隔設(shè)置有多個(gè)第二卡片板,相鄰兩個(gè)所述第二卡片板之間形成用于放置所述硅片的第二卡槽,相鄰兩個(gè)所述第二卡片板之間的間隔與所述硅片花籃上相鄰兩個(gè)第一卡片板之間的間隔相等;
取片架,所述取片架包括多個(gè)沿豎直方向間隔設(shè)置的插片板,多個(gè)所述插片板均能伸入位于所述第一卡槽或所述第二卡槽的所述硅片的底部,并將所述硅片托起進(jìn)行轉(zhuǎn)移。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述導(dǎo)片裝置還包括導(dǎo)向組件,所述取片架連接于所述導(dǎo)向組件,所述導(dǎo)向組件能夠驅(qū)動(dòng)所述取片架在所述硅片花籃與所述緩存架之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述導(dǎo)向組件包括:
支架,所述取片架連接于所述支架;
滑桿,所述滑桿設(shè)置于所述緩存架的上方;
滑塊,所述滑塊連接于所述支架,所述滑塊滑動(dòng)配合于所述滑桿。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述導(dǎo)向組件還包括限位件,所述限位件被配置為對所述滑塊沿所述滑桿的滑動(dòng)限位。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述限位件為套設(shè)于所述滑桿兩端的限位塊,所述限位塊采用橡膠材質(zhì)制成。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述導(dǎo)片裝置還包括調(diào)節(jié)組件,所述調(diào)節(jié)組件被配置為調(diào)節(jié)所述取片架相對于所述支架的位置。
作為一種導(dǎo)片裝置的優(yōu)選方案,所述調(diào)節(jié)組件包括:
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





