[實用新型]一種導片裝置

有效

• 申請號: 201921859210.0
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN210403681U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李兵;陳瑤;鄧偉偉
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種導片裝置，用于硅片花籃(100)內的多個硅片的轉移，其特征在于，該導片裝置包括：

緩存架(1)，其設置于所述硅片花籃(100)的開口處，所述緩存架(1)包括兩個相對設置的承載架(11)，每個所述承載架(11)上均沿豎直方向間隔設置有多個第二卡片板(12)，相鄰兩個所述第二卡片板(12)之間形成用于放置所述硅片的第二卡槽，相鄰兩個所述第二卡片板(12)之間的間隔與所述硅片花籃(100)上相鄰兩個第一卡片板(102)之間的間隔相等；

取片架(2)，所述取片架(2)包括多個沿豎直方向間隔設置的插片板(21)，多個所述插片板(21)均能伸入位于所述第一卡槽或所述第二卡槽的所述硅片的底部，并將所述硅片托起進行轉移。

2.根據權利要求1所述的導片裝置，其特征在于，所述導片裝置還包括導向組件(3)，所述取片架(2)連接于所述導向組件(3)，所述導向組件(3)能夠驅動所述取片架(2)在所述硅片花籃(100)與所述緩存架(1)之間往復運動。

3.根據權利要求2所述的導片裝置，其特征在于，所述導向組件(3)包括：

支架(31)，所述取片架(2)連接于所述支架(31)；

滑桿(32)，所述滑桿(32)設置于所述緩存架(1)的上方；

滑塊(33)，所述滑塊(33)連接于所述支架(31)，所述滑塊(33)滑動配合于所述滑桿(32)。

4.根據權利要求3所述的導片裝置，其特征在于，所述導向組件(3)還包括限位件，所述限位件被配置為對所述滑塊(33)沿所述滑桿(32)的滑動限位。

5.根據權利要求4所述的導片裝置，其特征在于，所述限位件為套設于所述滑桿(32)兩端的限位塊，所述限位塊采用橡膠材質制成。

6.根據權利要求3所述的導片裝置，其特征在于，所述導片裝置還包括調節組件(4)，所述調節組件(4)被配置為調節所述取片架(2)相對于所述支架(31)的位置。

7.根據權利要求6所述的導片裝置，其特征在于，所述調節組件(4)包括：

連接桿(41)，其一端與所述取片架(2)相連，另一端與所述支架(31)螺紋連接；

固定件(42)，其設置于所述連接桿(41)遠離所述取片架(2)的一端；

彈簧(43)，其設置于所述固定件(42)與所述支架(31)之間。

8.根據權利要求1-7任一項所述的導片裝置，其特征在于，每個所述插片板(21)均包括連接部(211)和連接于所述連接部(211)的卡片部(212)，多個所述插片板(21)通過所述連接部(211)相連，所述卡片部(212)能夠托起所述硅片。

9.根據權利要求8所述的導片裝置，其特征在于，每個所述插片板(21)的所述卡片部(212)為多個，多個所述卡片部(212)沿所述連接部(211)的長度方向間隔設置。

10.根據權利要求1-7任一項所述的導片裝置，其特征在于，所述第二卡片板(12)的數量大于所述硅片花籃(100)的所述第一卡片板(102)的數量。